[发明专利]液体喷射头及液体喷射装置

权利要求书

1.一种液体喷射头，包括：

压电致动器，其具有第1电极、形成于与前述第1电极的面垂直的第一方向的压电体和形成于前述压电体的前述第一方向的第2电极；以及

静电致动器，其具有前述第2电极和相对于前述第2电极隔着空间相对配置的第3电极。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，还包括：

第1基板，其形成于前述压电致动器的相对于前述第一方向相反的第二方向；以及

第2基板，其形成于前述压电致动器的前述第一方向；

其中，在前述第1基板，形成有与喷嘴孔连通的流路；

在前述第2基板的前述压电致动器侧，形成有凹部；

前述第3电极，形成于前述凹部的底面。

3.根据权利要求2所述的液体喷射头，还包括：

驱动IC，其对前述第1电极与前述第2电极之间以及前述第2电极与前述第3电极之间施加电压。

4.根据权利要求3所述的液体喷射头，其中，

前述驱动IC，进行第1控制和第2控制，所述第1控制对前述第1电极与前述第2电极之间施加电压而对前述流路内进行加压，所述第2控制对前述第2电极与前述第3电极之间施加电压而对前述流路内进行减压。

5.一种液体喷射装置，包括权利要求1～4中的任意一项所述的液体喷射头。