[发明专利]金刚石膜生长电极弹性张紧装置

权利要求书

1.一种金刚石膜生长电极弹性张紧装置，包括底板（5）和衬底工作台（21），衬底工作台（21）安装在底板（5）上，热丝（20）位于衬底工作台（21）的上部，其特征是所述热丝（20）的两端固定在对应的左钼电极（2）和右钼电极（3）中，所述的左钼电极（2）和右钼电极（3）分别安装在对应的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的上端，所述的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的下端对称安装衬底工作台（21）两侧的底板（5）上；所述的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的弹性系数k(N/mm)与热丝（20）的数量n及热丝（20）的半径r满足以下关系k=（1~3）n·r²，其中r=0.1~1mm；左弹性支架（1）和右弹性支架（4）向内收缩后两端之间的距离L（mm）与热丝的工作长度L₁（mm）之间应满足以下关系L₁=5+1.05 L。

2.根据权利要求1所述的金刚石膜生长电极弹性张紧装置，其特征是所述的左弹性支架（1）由多片左弹簧片（11）叠加而成，左弹簧片（11）的下端通过绝缘垫（6）、螺钉（7）、绝缘套（8）、和垫片（9）与底板（5）连接；右弹性支架（4）与左弹性支架（1）具有相同的结构，它由多片右弹簧片（30）叠加而成，右弹簧片（30）通过绝缘垫（35）、螺钉（32）、绝缘套（33）、和垫片（34）与底板（5）连接。

3.根据权利要求1所述的金刚石膜生长电极弹性张紧装置，其特征是所述的左钼电极（2）由左上钼压块（17）、左下钼压块（18）、左冷却板（14）、左电极板（13）组成，热丝（20）的左端通过螺钉（19）紧压在左上钼压块（17）和左下钼压块（18）之间，左钼电极（2）通过螺钉（12）连在左弹性支架（1）的左弹簧片（11）上；右钼电极（3）与左钼电极（2）具有相同结构，它由右上钼压块（23）、右下钼压块（24）、右冷却板（29）、右电极板（27）组成，热丝（20）右端通过螺钉（22）紧压在右上钼压块（23）和右下钼压块（24）之间，右钼电极（3）通过螺钉（28）连在右弹性支架（4）的右弹簧片（30）上。

4.根据权利要求1所述的金刚石膜生长电极弹性张紧装置，其特征是所述的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的弹性系数由弹簧片的叠加数量调整；左弹性支架（1）和右弹性支架（4）之间的距离通过改变他们在底板（5）上的安装位置调整，以适应不同面积的工作台。

5.根据权利要求1所述的金刚石膜生长电极弹性张紧装置，其特征是所述的热丝（20）呈空间列阵排布；并通过左电极板（13）和右电极板（27）加电流，与左电极板（13）和右电极板（27）连接的施加电流的导线为柔性的铜丝编织带。

6.根据权利要求1所述的金刚石膜生长电极弹性张紧装置，其特征是所述的左钼电极（2）通过循环水冷却，2根带接头的金属软管（10）和中空的左冷却板（14）形成冷却水通道，金属软管（10）的接头和左冷却板（14）之间金属密封连接；右钼电极（3）通过循环水冷却，2根带接头的金属软管（31）和中空的右冷却板（29）形成冷却水通道，金属软管（31）的接头和右冷却板（29）之间金属密封连接。

7.根据权利要求1所述的金刚石膜生长电极弹性张紧装置，其特征是所述的热丝（20）与衬底工作台（21）之间的距离可调。