[发明专利]一种制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法无效
| 申请号： | 201110157002.8 | 申请日： | 2011-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN102818840A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;汪幸;刘明;周文;侯成诚;闫学锋;谢常青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制作 表面波 传感器 氧化 掺杂 酞菁锌 敏感 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法，其特征在于，该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上滴涂二氧化锡与酞菁锌混合溶液，并真空烘干形成二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜。
2.根据权利要求1所述的制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法，其特征在于，所述在双延迟线型振荡器的一条延迟线上滴涂二氧化锡与酞菁锌混合溶液，包括：
将质量比1∶5的二氧化锡与酞菁锌在常温下混合制作二氧化锡与酞菁锌的混合溶液；
采用超声振荡器将二氧化锡与酞菁锌的混合溶液在常温下超声振荡至少1个小时；以及
在常温下用微量移液器在双延迟线型振荡器的一条延迟线上滴涂50μl的二氧化锡与酞菁锌的混合溶液。
3.根据权利要求1所述的制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法，其特征在于，所述真空烘干是在60℃的蒸空干燥箱中干燥至少两个小时。
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