[发明专利]避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置

权利要求书

1.一种避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法，用于确保热氧化生长过程中二氯乙烯通过N₂的携带方式正常通入所述氧化炉管内，其特征是：对于每个含有二氯乙烯的工艺制程，采集其二氯乙烯重量减少的数据，以确保二氯乙烯重量的减少量在正常值范围内。

2.如权利要求1所述的方法，其特征是：所述采集二氯乙烯重量减少的数据的步骤包括：在制程的开始和结束时分别采集二氯乙烯容器内的二氯乙烯重量数据。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征是：如果所述二氯乙烯重量的减少量不在正常值范围内，则报警停机检查。

4.如权利要求1所述的方法，其特征是：所述正常值范围在DCE正常消耗量标准值的±10％范围内。

5.如权利要求1所述的方法，其特征是：所述报警包括语音报警和/或声光报警。

6.一种避免氧化炉管二氯乙烯失效的装置，采用如权利要求1至5所述的任意方法之一，包括氧化炉管和二氯乙烯容器，所述二氯乙烯容器与所述氧化炉管之间通过进气管连接，所述进气管将通过N₂携带的二氯乙烯送入所述氧化炉管内，其特征是：

在所述二氯乙烯容器的下方安装有重量测量装置，用于每完成一个含有二氯乙烯的工艺制程后，采集所述二氯乙烯重量减少的数据。

7.如权利要求6所述的装置，其特征是：所述重量测量装置还包括报警器，当所述二氯乙烯的重量减少数据不在正常值范围内时发出报警信号。

8.如权利要求7所述的装置，其特征是：所述正常值范围在DCE正常消耗量标准值的±10％范围内。

9.如权利要求7所述的装置，其特征是：所述报警包括语音报警和/或声光报警。