[发明专利]快速分离衬底与外延层的方法无效
| 申请号： | 201110157417.5 | 申请日： | 2011-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN102299214A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 成诗恕 | 申请（专利权）人： | 协鑫光电科技（张家港）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;姜精斌 |
| 地址： | 215600 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 快速 分离 衬底 外延 方法 | ||
1.一种快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于，包括：
取一发光二极管，该发光二极管的衬底与外延层之间具有一个薄层的可移除材料；
对该薄层的可移除材料施加能量，使得该薄层的可移除材料的状态产生变化；
通过可移除材料状态变化，使得衬底与外延层不再结合，进而使得该衬底与该外延层分离。
2.如权利要求1所述的快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于：该薄层的可移除材料是通过蒸镀、物理沉积或化学沉积的方式形成于外延层与衬底之间。
3.如权利要求1所述的快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于：所述可移除材料为金属、合金或无机氧化物，且其厚度为1nm至10μm。
4.如权利要求1所述的快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于：所述对该薄层的可移除材料施加能量包括加热、照光和微波方式。
5.如权利要求1所述的快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于：所述可移除材料的状态产生变化包括熔化、气化和分解。
6.一种快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于，包括：
取一发光二极管，该发光二极管的衬底与外延层之间具有一个薄层的可移除材料；
对该薄层的可移除材料施加溶剂，使得该薄层的可移除材料的状态产生变化；
通过可移除材料状态变化，使得衬底与外延层不再结合，进而使得该衬底与该外延层分离。
7.如权利要求6所述的快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于：该薄层的可移除材料是通过蒸镀、物理沉积或化学沉积的方式形成于外延层与衬底之间。
8.如权利要求6所述的快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于：所述可移除材料为金属、合金或无机氧化物，且其厚度为1nm至10μm。
9.如权利要求6所述的快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于：所述溶剂为蚀刻液、无机溶剂或有机溶剂。
10.如权利要求6所述的快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于：所述可移除材料的状态产生变化包括解离、溶解和分解。
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