[发明专利]感光性树脂组合物

说明书

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物。

背景技术

在近年来的液晶显示面板等中，为了形成光阻间隙、外覆层而使用感光性树脂组合物。作为这种感光性树脂组合物，已知有例如，含有不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与脂肪族多环式环氧化合物的共聚物、聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂的感光性树脂组合物(专利文献1)。

专利文献1：日本特开2008-181087号公报

发明内容

在使用感光性树脂组合物在同一基板上形成多个图案时，随着曝光量的变动，所得图案的宽度也大幅变化，此时基板上形成的图案的宽度也会参差不齐。在过去提出的感光性树脂组合物中，伴随着曝光量的变动而得到的图案的宽度变动量(曝光余白，exposure margin)有时未必能充分满足。

本发明提供以下的方案[1]～[8]。

[1].一种感光性树脂组合物，其含有下述(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)，(B1)的含量相对于(B1)和(B2)的总量为5质量％～80质量％的量，

(A)：包含具有脂环式烃结构的结构单元的树脂，

(B1)：具有碳-碳不饱和键和脂环式烃结构的聚合性化合物，

(B2)：与(B1)不同的聚合性化合物，

(C)：光聚合引发剂，

(D)：溶剂。

[2].如上述[1]所述的感光性树脂组合物，其中，(C)是含有苯乙酮化合物的光聚合引发剂。

[3].如上述[1]或[2]所述的感光性树脂组合物，其中，上述脂环式烃结构是桥环式烃结构。

[4].如上述[1]～[3]的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(B1)是具有脂环式烃结构和两个以上的碳-碳不饱和键的聚合性化合物。

[5].如上述[1]～[4]的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(A)所具有的脂环式烃结构与(B1)所具有的脂环式烃结构相同。

[6].如上述[1]～[5]的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，(A)是包含来自选自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物组成的组中的至少一种的结构单元的加成聚合物，

式(I)和式(II)中，R¹和R²彼此独立地表示氢原子、或碳原子数为1～4的烷基，且该烷基所包含的氢原子可以被羟基取代。

X¹和X²彼此独立地表示单键、-R³-、*-R³-O-、*-R³-S-、*-R³-NH-，

R³表示碳原子数为1～6的亚烷基，

*表示与O的键合部位。

[7].一种图案，其使用上述[1]～[6]的任一项所述的感光性树脂组合物形成。

[8].一种显示装置，其包含上述[7]所述图案。

具体实施方式

下面将详细说明本发明。

本发明的感光性树脂组合物含有：包含具有脂环式烃结构的结构单元的树脂(A)、具有碳-碳不饱和键和脂环式烃结构的聚合性化合物(B1)、与(B1)不同的聚合性化合物(B2)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)，聚合性化合物(B1)的含量为(B1)和(B2)的总量的5质量％～80质量％的量。

另外，本说明书中，作为各成分所例示的化合物，只要没有特殊说明，就可以单独或组合使用。

本发明的感光性树脂组合物含有：包含具有脂环式烃结构的结构单元的树脂(A)。

本发明的感光性树脂组合物中使用的包含具有脂环式烃结构的结构单元的树脂(A)(下文中有时称作“树脂(A)”。)是指，包含来自具有脂环式烃环的单体的结构单元的树脂。作为本发明的树脂(A)中的脂环式烃结构，可以列举出例如，环戊烷结构、环己烷结构、环庚烷结构等单环式烃结构、三环癸烷结构、三降冰片烷(Trinorbornan)结构、金刚烷结构等桥环式烃结构。其中，脂环式烃结构优选桥环式烃结构，更优选三环癸烷结构。当脂环式烃结构为上述结构时，有保存稳定性优异，并且所得图案耐溶剂性、耐热性优异的趋势。本说明书中，脂环式烃结构还包括作为构成该环的键具有双键的结构。

作为树脂(A)，优选列举例如，