[发明专利]光纤阵列组件凹槽基板的制造方法

权利要求书

1.一种光纤阵列组件凹槽基板的制造方法，其特征是：它依次包括以下步骤，

a.在清洗干净的石英材料上涂一层抗蚀剂保护层，并均胶、烘干；

b.在完成上述步骤的石英材料上盖上掩模母板，进行紫外曝光;

c.显影去除抗蚀剂保护层透光部分，清洗干净烘干；

d.采用浓度40%的氟化铵缓冲溶液湿法腐蚀抗蚀剂保护层中透光的部分；

e.腐蚀深度至30 ±10μm处，拿出清洗干净；

f.将石英材料放进烘箱做抗蚀剂保护层坚膜，温度为120～148℃，时长10～30分钟；

g.再腐蚀石英玻璃深至45μm～62μm之间；

h.使用有机溶剂，去除抗蚀剂保护层；

i.磨倒角，用切割机将其分切成小块，最后形成石英凹槽基板。

2.根据权利要求1所述的光纤阵列组件凹槽基板的制造方法，其特征是：所述石英材料为JGS1石英材料。