[发明专利]多晶硅还原炉

权利要求书

1.多晶硅还原炉，包括炉体和底盘、混合气进气管、混合气出气管及硅棒，其特征在于，所述底盘上设有电极，所述电极以正多边形方式排列，所述电极上连接有所述硅棒。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述电极为36对。

3.根据权利要求1所述的36对棒多晶硅还原炉，其特征在于，所述电极为正三角形排列方式，或者正方形排列方式，或者正六边形排列方式。

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述电极的正多边形均与相邻的正多边形共用一条边。

5.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉，其特征在于，当所述电极为正三角形排布时，所述混合气进气管之间按正六边形方式排布在所述的底盘上；当所述电极为正方形排布时，所述混合气进气管之间按正方形方式排布在所述的底盘上；当所述电极为正六边形排布时，所述混合气进气管之间按正三角形方式排布在所述的底盘上，且所述混合气进气管位于由所述电极组成的正多边形的中心。

6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述混合气出气管按同心圆方式均匀分布在所述底盘上。

7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述炉体为钟罩式双层炉体。

8.根据权利要求7所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述钟罩式双层炉体上的炉筒与夹套之间焊接有螺旋形的导流板，所述导流板、所述夹套及所述炉筒之间形成螺旋形的流道。

9.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述炉体罩在底盘之上，所述炉体上设置有炉体冷却水进水管和炉体冷却水出水管。

10.根据权利要求7所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述炉体罩在底盘之上，所述炉体上设置有炉体冷却水进水管和炉体冷却水出水管。

11.根据权利要求10所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述炉体冷却水进水管和炉体冷却水出水管位于螺旋形流道的两端。

12.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于，所述底盘上设置底盘冷却水进水管和底盘冷却水出水管。