[发明专利]一种含硫双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1. 一种含硫双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂，其特征在于，该缓蚀剂的各组分的质量百分比为：

 含硫双咪唑啉季铵盐20－50重量％；

非离子表面活性剂1－5重量％；

低分子醇溶剂40－70重量％；

炔醇5－10重量％；

其中，含硫双咪唑啉化合物具有如下结构通式：

式中的R中碳原子数量为5或8。

2.根据权利要求1所述含硫双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂，其特征在于，所述非离子表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚；其中，所述聚氧乙烯醚的OP值为4-15；所述低分子醇溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇或乙二醇；所述炔醇为丙炔醇或己炔醇。

3. 根据权利要求1或2所述的含硫双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂的制备方法：其特征在于，具体包括以下步骤：

步骤1：制备双咪唑啉化合物：

在反应器中按一定顺序加入二元有机羧酸、多胺，摩尔比为二元有机羧酸：多胺＝1.0：1.5-2.5，在搅拌条件下升温至110-150℃开始回流，此时有液体分出，保持回流1.0~2.0h；再升温至140~180℃，回流3.0~6.0h进行酰胺化反应；继续升温至220~280℃回流3.0-6.0h进行环化反应，得到双咪唑啉中间体；将温度降至70-100℃，按照摩尔比多胺：含硫化合物＝1.0：1.5-2.5加入含硫化合物，再升温至100-150℃左右，继续反应3.0-6.0h，得到棕黄色均一粘稠液体，即为目标产物－双咪唑啉化合物，备用；

  步骤2：按照质量百分比分别称取将双咪唑啉化合物与非离子表面活性剂、低分子醇溶剂和炔醇互相混合，搅拌均匀，即得到含硫双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述二元羧酸为：己二酸或癸二酸。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述多胺为：二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺或多乙烯多胺。

6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述含硫化合物为硫醇或硫脲。