[发明专利]含过滤结构的电阻蒸发镀膜机

权利要求书

1.含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体(10)、以及与所述机体(10)连接的管道(11)，其特征在于：所述管道(11)与机体(10)相接的开口处(15)设有过滤件(12)，所述过滤件(12)在朝向机体(10)的一侧设有格栅(13)，所述格栅(13)通过固定连接在管道(11)上而将所述过滤件(12)固定在开口处(15)。

2.根据权利要求1所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述管道(11)内设有一体的螺栓，螺栓穿过所述格栅(13)与螺母(14)连接，将格栅(13)固定连接在管道(11)中。

3.根据权利要求2所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述螺母(14)与格栅(13)之间设有垫圈(16)。

4.根据权利要求1所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述镀膜机包括工件架底座(1)，所述工件架底座(1)上设有蒸发电极杆支架(4)，所述蒸发电极杆支架(4)之间连接有蒸发电极杆(5)，所述蒸发电极杆(5)上设有蒸发夹具(51)，所述蒸发夹具(51)之间设有钨舟(8)，所述钨舟(8)上绕有钼丝(9)。

5.根据权利要求4所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上转动连接有上挡板(6)。

6.根据权利要求5所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上连接有挡板主杆(61)，所述挡板主杆(61)在蒸发电极杆支架(4)上进行自转，所述挡板主杆(61)上固定连接有挡板支肋骨(62)，所述挡板支肋骨(62)固定连接所述上挡板(6)，所述上挡板(6)通过挡板支肋骨(62)和挡板主杆(61)转动连接在蒸发电极杆支架(4)上。

7.根据权利要求6所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述挡板主杆(61)上分别设有上支撑杆(63)和下支撑杆(64)，所述蒸发电极杆支架(4)端部分别设有与上支撑杆(63)和下支撑杆(64)对应的上限位杆(65)和下限位杆(66)，当所述挡板主杆(61)转动至上支撑杆(63)抵住上限位杆(65)时，所述上挡板(6)盖于蒸发电极杆支架(4)上方；当所述挡板主杆(61)转动至下支撑杆(64)抵住下限位杆(66)时，所述上挡板(6)脱离对蒸发电极杆支架(4)的遮盖。

8.根据权利要求5或6或7所述的含过滤结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(4)上固定连接有下挡板(7)，所述下挡板(7)开口朝向上挡板(6)。