[发明专利]含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机无效
| 申请号： | 201110160223.0 | 申请日： | 2011-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN102199750A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 胡永强;张婷 | 申请（专利权）人： | 胡永强 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 施少锋 |
| 地址： | 322118 浙江省金华市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 轰击 结构 电阻 蒸发 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，包括镀膜机的机体(10)，机体内设有工件架底座(1)，所述工件架底座(1)上设有蒸发电极杆支架(2)，所述蒸发电极杆支架(2)之间连接有蒸发电极杆(3)，其特征在于：所述机体内设有至少一根离子轰击杆(5)。
2.根据权利要求1所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述离子轰击杆(5)与蒸发电极杆(3)之间平行。
3.根据权利要求1所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述机体(10)连接有管道(11)，所述管道(11)与机体(10)相接的开口处(15)设有过滤件(12)，所述过滤件(12)在朝向机体(10)的一侧设有格栅(13)，所述格栅(13)通过固定连接在管道(11)上而将所述过滤件(12)固定在开口处(15)。
4.根据权利要求3所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述管道(11)内设有一体的螺栓，螺栓穿过所述格栅(13)后与螺母(14)连接，将格栅(13)固定连接在管道(11)中。
5.根据权利要求4所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述螺母(14)与格栅(13)之间设有垫圈(16)。
6.根据权利要求1所述的含轰击杆结构的电阻蒸发镀膜机，其特征在于：所述蒸发电极杆支架(2)上固定连接有下挡板(4)，所述下挡板(4)开口朝向机体(10)的顶部。
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