[发明专利]磨削加工工具有效
申请号: | 201110160530.9 | 申请日: | 2011-06-15 |
公开(公告)号: | CN102294637A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 长井修;桑名一孝;星川裕俊;早坂秀树 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;H01L21/304 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 党晓林;王小东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磨削 加工 工具 | ||
1.一种磨削加工工具,所述磨削加工工具具有:
圆环状的基座部;
多个磨具,其呈圆环状地排列并配设于该基座部上,并且与工件的露出面抵接;以及
多个喷嘴,其呈圆环状地排列并配设于所述基座部,用于将加工液引导至工件与所述磨具接触的接触部位,
所述磨削加工工具在对工件进行磨削加工时被使用,其特征在于,
所述基座部由第1部位和第2部位构成,在所述第1部位配设有所述磨具,在所述第2部位形成有所述喷嘴,
所述第1部位和所述第2部位能够分离。
2.根据权利要求1所述的磨削加工工具,其特征在于,
所述第1部位和所述第2部位通过固定件被一并固定于固定部。
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