[发明专利]减小多个柱状电子束测试系统中的串扰的方法有效
| 申请号： | 201110162098.7 | 申请日： | 2007-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102353890A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | R·施米特;T·施韦德斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01R31/305 | 分类号： | G01R31/305 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减小 柱状 电子束 测试 系统 中的 方法 | ||
1.一种电子束测试系统，包含：
多个电子束柱，其包含：
一个或多个奇数柱与一个或多个偶数柱，每一个电子束柱都包括消隐系统与检测器；以及
同步化装置，其具有主时钟信号，该主时钟信号定义第一触发事件与第二触发事件，其中每一个电子束柱的消隐系统与检测器与该主时钟信号相通，并且一个或多个奇数柱的消隐系统在第一触发事件处被触发，且一个或多个偶数柱的消隐系统在第二触发事件处被触发，或反之亦然。
2.如权利要求1所述的测试系统，其特征在于，一个或多个偶数柱在第一触发事件处被触发，且一个或多个奇数柱在第二触发事件处被触发。
3.如权利要求1所述的测试系统，其特征在于，多个电子束柱是相邻且位于一个基本上笔直的线中。
4.如权利要求1所述的测试系统，其特征在于，每一个电子束柱都具有重迭的测试区域。
5.如权利要求1所述的测试系统，其特征在于，一个或多个奇数柱的消隐系统在第一触发事件之后的第一预定时间进行切换，且一个或多个偶数柱的消隐系统在第二触发事件之后的第二预定时间进行切换。
6.如权利要求5所述的测试系统，其特征在于，第一预定时间与第二预定时间不重迭。
7.如权利要求5所述的测试系统，其特征在于，第一预定时间与第二预定时间是不同的。
8.如权利要求1所述的测试系统，更包含：
读取窗口，其与同步化装置和检测器相通，其中在第一触发事件之后的第一周期内开启用于一个或多个奇数柱的读取窗口，且在第二触发事件之后的第二周期内开启用于一个或多个偶数柱的读取窗口。
9.如权利要求8所述的测试系统，其特征在于，第一周期与第二周期是不同的，且不重迭。
10.如权利要求1所述的测试系统，其特征在于，多个电子束柱包括至少六个电子束柱。
11.如权利要求1所述的测试系统，其特征在于，多个电子束柱包括至少八个电子束柱。
12.如权利要求1所述的测试系统，其特征在于，每一个电子束柱包含一个在基板上经对角线测量约为380毫米×440毫米的测试区域。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110162098.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
