[发明专利]一种等离子刻蚀残留物清洗液

权利要求书

1.一种等离子刻蚀残留物的清洗液，其包括：有机溶剂、水、氟化物、有机胺、氨基酸、胍类和苯并三氮唑及其衍生物。

2.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述有机溶剂的含量为5～75wt％；所述水的含量为10～50wt％；所述氟化物的含量为0.1～20wt％；所述有机胺的含量为0.1～20wt％；所述氨基酸的含量为0.1～10wt％；所述胍类的含量为0.01～5wt％；所述苯并三氮唑及其衍生物的含量为0.01～5wt％。

3.如权利要求2所述清洗液，其特征在于，所述胍类的含量为0.05～2wt％。

4.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述有机溶剂为选自亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醚中的一种或多种。

5.如权利要求4所述清洗液，其特征在于，所述亚砜为二甲基亚砜、二乙基亚砜和甲乙基亚砜中的一种或多种；所述砜为甲基砜、乙基砜和环丁砜中的一种或多种；所述咪唑烷酮为2-咪唑烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑烷酮和1，3-二乙基-2-咪唑烷酮中的一种或多种；所述吡咯烷酮为N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-环己基吡咯烷酮和N-羟乙基吡咯烷酮中的一种或多种；所述咪唑啉酮为1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述酰胺为二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺；所述醚为乙二醇单烷基醚、二乙二醇单烷基醚、丙二醇单烷基醚、二丙二醇单烷基醚和三丙二醇单烷基醚中的一种或多种。

6.如权利要求5所述清洗液，其特征在于，所述乙二醇单烷基醚为乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚和乙二醇单丁醚中的一种或多种；所述二乙二醇单烷基醚为二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚和二乙二醇单丁醚中的一种或多种；所述丙二醇单烷基醚为丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚和丙二醇单丁醚中的一种或多种；所述二丙二醇单烷基醚为二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚和二丙二醇单丁醚中的一种或多种；所述三丙二醇单烷基醚为三丙二醇单甲醚。

7.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述氟化物为氟化氢、或氟化氢与碱形成的盐。

8.如权利要求7所述清洗液，其特征在于，所述碱是氨水、季胺氢氧化物和醇胺。

9.如权利要求7所述清洗液，其特征在于，所述氟化物为氟化氢、氟化铵、氟化氢铵、四甲基氟化铵或三羟乙基氟化铵NCH2OH₃HF中的一种或多种。

10.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述有机胺为二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺，N，N-二甲基乙醇胺、N，N-甲基乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和三乙醇胺一种或多种。

11.如权利要求10所述清洗液，其特征在于，所述有机胺为五甲基二乙烯三胺、三乙胺和三乙醇胺的一种或多种。

12.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述氨基酸为2-氨基乙酸、2-氨基苯甲酸、亚氨基二乙酸，氨三乙酸或乙二胺四乙酸中的一种或多种。

13.如权利要求12所述清洗液，其特征在于，所述氨基酸为2-氨基乙酸和亚氨基二乙酸。

14.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述胍类为含有胍基的物质，所谓胍基为一个碳原子与三个氮原子连接，并且其中一个氮原子以双键与碳相连，其余两个以单键相连，如下式1所示：

式1。

15.如权利要求14所述清洗液，其特征在于，所述胍类为四甲基胍、碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亚甲基胍和对胍基苯甲酸。

16.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述苯并三氮唑及其衍生物为苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、1-羟基苯并三氮唑、5-羧基苯并三氮唑中的一种或多种。