[发明专利]基于双缝干涉的带宽检测传感器

权利要求书

1.一种基于双缝干涉的带宽检测传感器，该传感器包括带有调压装置的气 源(8)、带有气电信号采集转换的计算机信息处理系统(1)，其特征在于：还 包括支架(5)，在所述支架(5)上设置第一气缝形成单元、气缝检测单元以 及设置在二者之间的气缝检测空间(9)，所述第一气缝形成单元内部设置第一 气室(11)，外部设置与所述第一气室(11)相连通的第一进气接头(7)、产 生第一气缝的第一缝隙(12)，所述气缝检测单元上设置若干位置与所述第一 缝隙(12)相对应的并可接收所述第一气缝的气体信号的气体检测管(2)；

所述气缝检测单元包括检测板(3)，所述检测板(3)上设置位置与所述 第一缝隙(12)相对应的检测腔(13)，所述检测腔(13)内设置所述气体检 测管(2)；

所述第一气缝形成单元中的第一气室(11)由第一进气板(6)和与其密 封连接的第一气缝生成板(4)构成，所述第一进气板(6)上设置与所述第一 进气接头(7)相配合的第一进气口(10)，所述第一气缝生成板(4)上设置 所述第一缝隙(12)；

所述支架(5)上设置第二气缝形成单元，所述第二气缝形成单元内部设 置第二气室(11′)，外部设置与所述第二气室(11′)相连通的第二进气接头 (7′)、产生第二气缝的第二缝隙(12′)，所述第二缝隙(12′)与所述第一缝 隙(12)平行，所述第二缝隙(12′)产生的第二气缝穿过所述气缝检测空间 (9)并且其方向与所述第一缝隙(12)产生的第一气缝的方向相垂直。

2.根据权利要求1所述的基于双缝干涉的带宽检测传感器，其特征在于： 所述第二气缝形成单元中的第二气室(11′)由第二进气板(6′)和与其密封 连接的第二气缝生成板(4′)构成，所述第二进气板(6′)上设置与所述第二 进气接头(7′)相配合的第二进气口(10′)，所述第二气缝生成板(4′)上设 置所述第二缝隙(12′)。

3.根据权利要求1所述的基于双缝干涉的带宽检测传感器，其特征在于： 所述第一气缝和所述第二气缝的宽度均为0.03mm～0.05mm。

4.根据权利要求1所述的基于双缝干涉的带宽检测传感器，其特征在于： 所述第二气缝的压力大于第一气缝的压力。