[发明专利]化合物、含有该化合物的聚合物及包含该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种由下式(1)代表的化合物：

[式1]

其中在式(1)中，

R₁₁代表选自氢原子、具有1～10个碳原子的烷基、具有1～10个碳原子的全氟烷基和具有1～10个碳原子的烷氧基中的任一种；

Q₁和Q₂各自独立地代表选自氢原子和卤素原子中的任一种；和

A+代表有机抗衡离子。

2.一种含有由下式(2)代表的重复单元的聚合物：

[式2]

其中在式(2)中，

R₁₁、R₄₁和R₄₂各自独立地代表选自氢原子、具有1～10个碳原子的烷基、具有1～10个碳原子的全氟烷基和具有1～10个碳原子的烷氧基中的任一种；

Q₁和Q₂各自独立地代表选自氢原子和卤素原子中的任一种；和

A+代表有机抗衡离子。

3.如权利要求2所述的聚合物，其中所述聚合物是由下式(3)代表的聚合物：

[式3]

其中在式(3)中，

R₁₁、R₁₂、R₁₃、R₁₄、R₄₁、R₄₂、R₄₃、R₄₄、R₄₅、R₄₆、R₄₇和R₄₈各自独立地代表选自氢原子、具有1～10个碳原子的烷基、具有1～10个碳原子的全氟烷基和具有1～10个碳原子的烷氧基中的任一种；

Q₁和Q₂各自独立地代表选自氢原子和卤素原子中的任一种；

R₂₁、R₂₂和R₂₃各自独立地代表选自氢原子、烷基、杂烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基和它们的组合中的任一种；

A+代表有机抗衡离子；

X代表衍生自烯属单体的聚合单元；和

符号l、m、n、o和p分别为0＜l≤0.4、0＜m≤0.5、0≤n≤0.5、0≤o≤0.5和0＜p≤0.2，同时l+m+n+o+p＝1。

4.如权利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物的重均分子量为2,000～100,000，并且分子量分布为1.5～5。

5.一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含含有由下式(2)代表的重复单元的聚合物：

[式2]

其中在式(2)中，

R₁₁、R₄₁和R₄₂各自独立地代表选自氢原子、具有1～10个碳原子的烷基、具有1～10个碳原子的全氟烷基和具有1～10个碳原子的烷氧基中的任一种；

Q₁和Q₂各自独立地代表选自氢原子和卤素原子中的任一种；和

A+代表有机抗衡离子。