[发明专利]零位传感器的调节定位装置及其调节定位方法

权利要求书

1.一种零位传感器的调节定位装置，其特征在于，包括

底座，所述底座包括凸台；

XY位移平台，所述XY位移平台包括底层、顶层以及贯穿所述底层、顶层的通孔，所述XY位移平台的底层固定于所述底座；

转接板，所述转接板包括通孔，所述转接板的一侧固定于所述XY位移平台的顶层，所述转接板的另一侧与所述零位传感器的基座固定连接；

所述凸台依次穿过所述XY位移平台的通孔和所述转接板的通孔，与所述零位传感器的调节板固定连接；

所述零位传感器的调节板和基座之间的位移随所述XY位移平台的底层和顶层之间的位移而调整。

2.如权利要求1所述的零位传感器的调节定位装置，其特征在于，所述XY位移平台还包括微分头，通过调节所述微分头调节所述XY位移平台的底层和顶层之间的位移。

3.如权利要求1所述的零位传感器的调节定位装置，其特征在于，所述零位传感器的基座与所述转接板通过定位销和弹簧柱塞固定连接。

4.如权利要求1所述的零位传感器的调节定位装置，其特征在于，所述转接板与所述XY位移平台的顶层通过螺纹定位销固定连接。

5.如权利要求1所述的零位传感器的调节定位装置，其特征在于，所述零位传感器的调节定位装置还包括参考镜架和参考镜架调节座，所述参考镜架通过所述参考镜架调节座固定于所述底座的顶面。

6.如权利要求1所述的零位传感器的调节定位装置，其特征在于，所述零位传感器的调节定位装置还包括用于支撑所述底座的支架，所述支架的底角处设置有调平螺丝，用于对所述支架进行概略调平。

7.如权利要求1所述的零位传感器的调节定位装置，其特征在于，所述底座的凸台包括旋紧扳手，所述旋紧扳手用于锁紧所述零位传感器的调节板与所述底座的凸台。

8.如权利要求1到7中任意一项所述的零位传感器的调节定位装置，其特征在于，所述零位传感器的调节板通过弹性销配合插销的方式与所述底座的凸台固定连接。

9.如权利要求8所述的零位传感器的调节定位装置，其特征在于，所述零位传感器的调节板包括弹性销孔，所述弹性销设置于所述底座的凸台，所述弹性销穿过所述弹性销孔，所述插销插入所述弹性销，所述弹性销与所述弹性销孔过盈配合。

10.如权利要求1所述的零位传感器的调节定位装置的调节定位方法，其特征在于，包括如下步骤：

将所述底座的凸台贯穿所述XY位移平台的通孔和所述转接板的通孔，所述凸台包括弹性销孔；

将所述转接板固定于所述XY位移平台的顶层，所述转接板包括定位销孔；

提供所述XY位移平台的定位块，所述定位块包括用于与所述转接板的定位销孔对准的第一定位孔和用于与所述凸台的弹性销孔对准的第二定位孔，将所述定位块放置于所述凸台的上表面且第二定位孔与所述弹性销孔对准；

将所述第一定位孔与所述转接板的定位销孔对准，在所述定位销孔内插入定位销，确定所述XY位移平台与所述底座的相对位置。