[发明专利]双重物理量传感器

说明书

技术领域

本发明涉及双重物理量传感器。

背景技术

在下述专利文献1中，公开了以两个压力传感器分别检测被测定对象的压力的双重压力传感器。该专利文献1的双重压力传感器，例如能够安装在下述专利文献2所记载的流量控制阀的阀主体，作为压差传感器使用。在该情况下，双重压力传感器分别检测出阀体上游侧的流体压力和阀体下游侧的流体压力，并输出至控制流量控制阀的流量测定装置。流量测定装置基于上游侧的流体压力与下游侧的流体压力的压差，计算出在流量控制阀的流路内流动的流体的流量。

但是，作为压力传感器，存在具有输出值根据使用时的温度而变动的温度特性的压力传感器。为了使用具有这样的温度特性的压力传感器来高精度地计算流体的流量，需要正确地对压力传感器的输出值进行温度修正，从输出值中除去由温度变化引起的变动量。因此，在专利文献1中，在两个压力传感器中分别搭载温度传感器，使用该温度传感器的检出温度修正各压力传感器的检测值。

专利文献1：日本特开2009-31003号公报

专利文献2：日本特开2009-115302号公报

对于上述专利文献1的双重压力传感器而言，针对一个双重压力传感器需要设置两个温度传感器，因此，难以应对减少部件个数和成本削减的要求。

发明内容

于是，本发明的一个目的在于提供一种能够减少部件个数和成本的双重物理量传感器。

本发明的双重物理量传感器包括：第一物理量检测元件，其检测第一被测定对象的物理量；第二物理量检测元件，其检测第二被测定对象的物理量；温度检测元件，其检测第一物理量检测元件和第二物理量检测元件的温度；第一修正部，进行从第一物理量检测元件的检出信号中除去因温度变化引起的变动量的修正，并将该修正后的信号作为第一被测定对象的测定信号输出；以及第二修正部，进行从第二物理量检测元件的检出信号中除去因温度变化引起的变动量的修正，并将该修正后的信号作为第二被测定对象的测定信号输出，其中，温度检测元件与第一物理量检测元件和第二物理量检测元件以相互接触的状态被一体化。

根据该结构，能够将一个温度检测元件与第一物理量检测元件和第二物理量检测元件以相互接触的状态一体化，因此能够以一个温度检测元件检测第一物理量检测元件和第二物理量检测元件的温度。

在上述双重物理量传感器中，也可以还具有发热器，使第一物理量检测元件和第二物理量检测元件的温度相同。

由此，即使在被测定对象或双重物理量传感器的周边温度变化的情况下，也能够利用发热器的发热，使第一物理量检测元件和第二物理量检测元件的温度上升至能够排除因温度变化带来的影响的水平，因此能够提高物理量的检测精度。

在上述双重物理量传感器中，也可以还具有发热控制部，其控制发热器的发热量，使得温度检测元件的检出温度成为预先决定的规定温度。

由此，例如能够抑制发热器的发热量，使得不会上升至损伤第一物理量检测元件和第二物理量检测元件的温度。

根据本发明，能够提供可减少部件个数和成本的双重物理量传感器。

附图说明

图1是实施方式的双重压力传感器的单侧截面图；

图2是图1所示的II-II线向视方向截面图；

图3是实施方式的双重压力传感器的功能结构图；

图4是第一变形例的双重压力传感器的功能结构图；

图5是第二变形例的双重压力传感器的功能结构图；以及

图6是第三变形例的双重压力传感器的功能结构图。

附图标记说明

1......双重压力传感器；2......气密容器；3A、3B......压力传感器；3h......导入孔；4......温度传感器；5......加热器；6......基板；7......控制电路；21......容器主体；21h......插通孔；22......盖体；71......加热器部；72A......第一压力检测部；72B......第二压力检测部；73......温度检测部；74A......第一修正部；74B......第二修正部；75......加热器控制部；100......流量测定装置；A1、B1......选择器部；A2、B2......A/D变换部；A3、B3......修正运算部；A4、B4......修正式存储部。

具体实施方式