[发明专利]偏光元件及其制造方法、液晶装置、电子设备

权利要求书

1.一种偏光元件，其特征在于，

具备基板和多个金属层，该多个金属层呈条纹状设置在上述基板的一面，且具有第1电介质层及第2电介质层，

上述第2电介质层的光吸收率高于上述第1电介质层的光吸收率，

在上述多个金属层中的第1金属层所具有的多个侧面中相互对置的两个侧面以及该第1金属层的顶部，该第1金属层所具有的上述第1电介质层被设置在该第1金属层所具有的上述第2电介质层与该第1金属层之间，

上述第1金属层所具有的上述第2电介质层的上述基板侧的端部位于上述基板的一面与上述第1金属层的顶部之间。

2.根据权利要求1所述的偏光元件，其特征在于，

上述第2电介质层具有第1部件与第2部件，

设置于上述第1金属层的上述第1部件与上述第2部件在上述第1金属层的顶部相互重叠。

3.根据权利要求2所述的偏光元件，其特征在于，

上述第1金属层设置在上述基板的一端侧，

上述多个金属层中的第2金属层设置在上述基板的另一端侧，

设置在上述第1金属层的上述第1部件的单位长度的体积比设置在上述第2金属层的上述第1部件的单位长度的体积大，

设置在上述第1金属层的上述第2部件的单位长度的体积比设置在上述第2金属层的上述第2部件的单位长度的体积小。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的偏光元件，其特征在于，

上述多个金属层是从铝、银、铜、铬、钛、镍、钨、铁中选出的材料，

上述第1电介质层是上述多个金属层的氧化物，

上述第2电介质层由从硅、锗、钼、碲中选出的材料构成。

5.根据权利要求4所述的偏光元件，其特征在于，

上述第1部件与上述第2部件由互为相同的材料构成。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的偏光元件，其特征在于，

在上述多个金属层之间的区域，对上述基板设置有槽。

7.一种偏光元件的制造方法，其特征在于，

该偏光元件具备：

基板；

呈条纹状设置在上述基板的一面的多个金属层；

设置在上述多个金属层中的一个金属层的表面的第1电介质层；和

设置在上述第1电介质层之上且含有第1部件与第2部件的第2电介质层；

上述偏光元件的制造方法具有下述工序：

通过在氧气气氛中，使设置在上述基板的一个面的上述多个金属层的表面氧化，来形成上述第1电介质层的工序；

使上述第1部件的材料从下述的第1方向堆积在上述第1电介质层之上，来形成上述第1部件的工序，其中该第1方向是指与上述一个金属层所具有的多个侧面中的一个侧面相对的方向；和

使上述第2部件的材料从下述的第2方向堆积在上述第1电介质层的上层，来形成上述第2部件的工序，其中该第2方向是指与上述一个金属层所具有的多个侧面中的另一侧面、即与上述一个侧面对置的侧面相对的方向。

8.根据权利要求7所述的偏光元件的制造方法，其特征在于，

在形成上述第1部件的工序中，按照上述第1部件的上述基板侧的端部位于上述基板的一面与上述一个金属层的顶部之间的方式，使上述第1部件的材料堆积在上述第1电介质层之上，

在形成上述第2部件的工序中，按照上述第2部件的上述基板侧的端部位于上述基板的一面与上述一个金属层的顶部之间的方式，使上述第2部件的材料堆积在上述第1电介质层的上层。

9.根据权利要求7或8所述的偏光元件的制造方法，其特征在于，

在形成上述第2部件的工序中，按照上述第2部件在上述一个金属层的顶部与上述第1部件重叠的方式形成上述第2部件。

10.根据权利要求7～9中任意一项所述的偏光元件的制造方法，其特征在于，

上述多个金属层中的第1金属层设置在上述基板的一端侧，

上述多个金属层中的第2金属层设置在上述基板的另一端侧，设置在上述第1金属层的上述第1部件的单位长度的体积比设置在上述第2金属层的上述第1部件的单位长度的体积大，

设置在上述第1金属层的上述第2部件的单位长度的体积比设置在上述第2金属层的上述第2部件的单位长度的体积小。