[发明专利]偏振元件及其制造方法、液晶装置、电子设备

权利要求书

1.一种偏振元件的制造方法，其特征在于，

该偏振元件具备在俯视时在基板上形成为条纹状的多个金属层和、在上述多个金属层中的一个金属层的表面上设置的电介质层；

该偏振元件的制造方法具有在氧气环境中，通过使上述多个金属层的表面氧化来形成上述电介质层的步骤。

2.根据权利要求1所述的偏振元件的制造方法，其特征在于，

上述氧气是臭氧气体。

3.根据权利要求1或2所述的偏振元件的制造方法，其特征在于，

在形成上述电介质层的步骤中，向上述多个金属层照射紫外光。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的偏振元件的制造方法，其特征在于，

还具有在上述多个金属层之间的区域内的上述基板上形成沟的步骤。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的偏振元件的制造方法，其特征在于，

上述金属层是从铝、银、铜、铬、钛、镍、钨、铁中选择的材料；

上述电介质层是上述金属层的氧化物。

6.一种投影型显示装置，其特征在于，具备：

光源；

入射从上述光源射出的光的液晶电光学元件；

向被投影面投影通过了上述液晶电光学元件的光的投影光学系统；

在从上述光源射出的光的光路上的上述光源和上述液晶电光学元件之间、和通过了上述液晶电光学元件的光的光路上的上述液晶电光学元件和上述投影光学系统之间的其中至少一方，设置有根据权利要求1至5的任意一项所述的制造方法制造出的偏振元件。

7.一种液晶装置，其特征在于，

在一对基板间夹持液晶层，在上述一对基板中的至少一个基板和上述液晶层之间设置有根据权利要求1至5中的任意一项所述的制造方法制造出的偏振元件。

8.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求7所述的液晶装置。