[发明专利]一种用于硅片切割的切割线无效
申请号: | 201110166583.1 | 申请日: | 2011-06-20 |
公开(公告)号: | CN102328351A | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 切割 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于硅片切割的切割线,包括线体,其特征在于,所述线体外周面上均匀固定设有磨料,所述磨料由金刚砂、三氧化二铬及碳化硅组成,金刚砂、三氧化二铬及碳化硅的颗粒度均为18um;该磨料中各组份所占的重量份数为:金刚砂为30-55份;三氧化二铬为5-15份;碳化硅为8-16份。
2.如权利要求1所述一种用于硅片切割的切割线,其特征在于,所述线体外周面上设有防腐层。
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