[发明专利]热分析型化学及气体探测传感器

权利要求书

1.一种热分析型化学及气体探测传感器，通过对被测化学物质或气体的局部加热后测量加热引起的燃烧释放的热量，实现对被测化学物质或气体的测量，其特征是所述探测传感器包括半导体衬底、悬空结构、加热元件、测温元件、绝缘层和用于生长碳纳米管薄膜的催化剂层；

所述悬空结构的两端固定在半导体衬底上，并且悬空结构的下表面与半导体衬底不接触；

所述悬空结构的上表面布设加热元件和测温元件；

所述加热元件和测温元件上表面布设绝缘层；

所述催化剂层覆盖整个悬空结构和绝缘层。

2.根据权利要求1所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述悬空结构具有一个或者多个对称轴，并且所述悬空结构关于对称轴正对称或者反对称。

3.根据权利要求2所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述加热元件相对于悬空结构的一个或者多个对称轴正对称布设或者反对称布设。

4.根据权利要求3所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述测温元件位于加热元件的中间、两侧或周围。

5.根据权利要求2所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述测温元件相对于悬空结构的一个或者多个对称轴正对称布设或者反对称布设。

6.根据权利要求5所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述加热元件位于测温元件的中间、两侧或周围。

7.根据权利要求1-6中任意一项权利要求所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述悬空结构采用二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、聚甲基丙烯酸甲酯或聚酰亚胺制成。

8.根据权利要求1-6中任意一项权利要求所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述加热元件由电阻、电感或电阻与电感的组合构成。

9.根据权利要求1-6中任意一项权利要求所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述测温元件为具有温度测量功能的微型结构，包括热敏电阻、二极管或者热电偶。

10.根据权利要求1-6中任意一项权利要求所述的一种热分析型化学及气体探测传感器，其特征是所述用于生长碳纳米管薄膜的催化剂层直接利用加热元件作为生长碳纳米管薄膜所需的热源。