[发明专利]微型刀具上制备复合硬质涂层的方法及微型刀具

权利要求书

1.一种微型刀具上制备复合硬质涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

A：对微型刀具待加工表面进行涂层前预处理；

B：对微型刀具待加工表面进行金属离子注入处理；

C：对微型刀具待加工表面进行硬质涂层沉积处理。

2.如权利要求1所述的微型刀具上沉积硬质涂层的制备方法，其特征在于，所述的步骤C中，硬质涂层沉积采用真空电弧沉积技术实现。

3.如权利要求2所述的微型刀具上沉积硬质涂层的制备方法，其特征在于，所述的步骤C中，硬质涂层沉积采用磁过滤脉冲阴极真空电弧沉积技术实现。

4.如权利要求1所述的微型刀具上制备复合硬质涂层的方法，其特征在于，所述的步骤B中的金属离子注入处理所采用的金属为第IVA族元素、第VA族元素、第VIA族元素或其合金。

5.如权利要求4所述的微型刀具上制备复合硬质涂层的方法，其特征在于，所述的步骤B中的金属离子注入处理所采用的金属为钛、铬、铝或其合金。

6.如权利要求1所述的微型刀具上制备复合硬质涂层的方法，其特征在于，所述步骤B中，离子注入的能量区间为三千百电子伏特-一万五千电子伏特。

7.如权利要求1或3所述的微型刀具上沉积硬质涂层的制备方法，其特征在于，所述的步骤C中，在微型刀具表面进行的硬质涂层沉积处理时，采用高纯钛靶作为阴极靶材，在真空腔室中通有氮气，以在刀具表面结合生产TiN涂层。

8.如权利要求1或3所述的微型刀具上沉积硬质涂层的制备方法，其特征在于，所述的步骤C中，在微型刀具表面进行的硬质涂层沉积处理时，采用原子比为50∶50的钛铝合金靶作为阴极靶材，在真空腔室中通有氮气，以在刀具表面结合生产TiAlN涂层。

9.如权利要求1所述的微型刀具上制备复合硬质涂层的方法，其特征在于，所述的步骤A中对微型刀具待加工表面进行涂层前预处理的步骤包括以下步骤：

进行超声波清洗：采用金属净洗剂在超声波清洗机中清洗，去除微型刀具表面的粉尘、油脂和锈斑，然后采用大量的去离子水漂洗微型刀具，去除残留在微型刀具上的清洗剂；之后，将微型刀具放入酒精中清洗，去除微型刀具表面的水；最后，将微型刀具放入丙酮中清洗，去除残留的油脂；

经过超声波清洗后，将微型刀具进行烘烤，去除微型刀具表面残留的丙酮、油脂，并将其挥发裂解的气体通过真空泵抽走，获得极其干净的表面。

10.一种采用如权利要求1-9任一所述方法制出的微型刀具，其特征在于，先对微型刀具待加工表面进行涂层前预处理；再对微型刀具待加工表面进行金属离子注入处理；再对微型刀具待加工表面进行硬质涂层沉积。