[发明专利]一种钴酸锂靶材及其制备方法无效
申请号: | 201110167921.3 | 申请日: | 2011-06-22 |
公开(公告)号: | CN102181840A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 钟小亮;王树森;王广欣 | 申请(专利权)人: | 苏州晶纯新材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/06;C04B35/01;C04B35/622 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 汪青 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钴酸锂靶材 及其 制备 方法 | ||
1.一种钴酸锂靶材,其特征在于:所述钴酸锂靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。
2.根据权利要求1所述的钴酸锂靶材,其特征在于:所述钴酸锂靶材的纯度为大于等于99.99%。
3.根据权利要求2所述的钴酸锂靶材,其特征在于:所述钴酸锂靶材的纯度为大于等于99.999%。
4.根据权利要求1所述的钴酸锂靶材,其特征在于:所述钴酸锂靶材的相对密度大于等于99%。
5.根据权利要求1所述的钴酸锂靶材,其特征在于:所述钴酸锂靶材的平均晶粒小于等于10微米。
6.一种钴酸锂靶材的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
(1)提供钴酸锂粉末,并将其液压成型为坯件;
(2)对所述的坯件进行冷等静压加工;
(3)将经过步骤(2)的坯件置于炉中进行烧结,烧结时,炉内真空度为10-4~10-3Pa,首先以50~300℃/h的升温速率将温度升至800℃~900℃,保温4~24小时后,充入惰性气体,然后以100~400℃/h的升温速率将温度升至900℃~1200℃,保温4~24小时后降至常温即得所述钴酸锂靶材,降温速率为20~100℃/h。
7.根据权利要求6所述的钴酸锂靶材的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,所述钴酸锂粉末的纯度为99.90%~99.99%、平均粒径为50~100nm。
8.根据权利要求6所述的钴酸锂靶材的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,所述液压成型的工作压力为5~50MPa。
9.根据权利要求6所述的钴酸锂靶材的制备方法,其特征在于:步骤(2)中,进行冷等静压加工的工作压力为200~300MPa。
10.根据权利要求6所述的钴酸锂靶材的制备方法,其特征在于:步骤(3)中所述惰性气体为氩气。
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