[发明专利]双折射晶体光学元件面形偏差测试系统

权利要求书

1.双折射晶体光学元件面形偏差测试系统，其特征在于：包括氦氖激光器、柱透镜、待测光学元件的夹具以及相隔一定距离的两个接收屏，其中所述的柱透镜能够将氦氖激光器出射的点光源转化为平行于水平面的单波长线光源，用于光学元件面形偏差的测试。

2.根据权利要求1所述的双折射晶体光学元件面形偏差测试系统，其特征在于待测的光学元件为双折射晶体加工而成，能够将单波长线光源入射的光折射后分为o光和e光两束光。

3.根据权利要求1所述的双折射晶体光学元件面形偏差测试系统，其特征在于通过调整6维调整架改变o光反射光的光路并测试第二接收屏上o光两端的高度差异即可测试出待测平面的面形偏差。

4.根据权利要求1所述的双折射晶体光学元件面形偏差测试系统，其特征在于调整6维调整架来测量出o光到反射光的高度差H以及光学元件到第二接收屏的距离L，则可计算出待测元件两个平面的夹角α。

5.根据权利要求1所述的双折射晶体光学元件面形偏差测试系统，其特征在于第一接收屏接收透过待测光学元件的光，从而判断待测光学元件是否调节水平，可以提高测试系统的准确性。