[发明专利]晶体生长炉及其炉盖无效
申请号: | 201110168954.X | 申请日: | 2011-06-20 |
公开(公告)号: | CN102839428A | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 汤旋 | 申请(专利权)人: | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;F27B17/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 314117 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长 及其 | ||
1.一种晶体生长炉炉盖,包括炉盖本体、覆于所述炉盖本体内壁的保温层及贯穿于其厚度方向且供电极穿过的通孔,其特征在于,所述晶体生长炉炉盖为平面状结构。
2.如权利要求1所述的晶体生长炉炉盖,其特征在于,所述炉盖本体的外壁固定有若干加强筋。
3.如权利要求2所述的晶体生长炉炉盖,其特征在于,所述加强筋为三个。
4.一种晶体生长炉,包括晶体生长炉本体、设置于所述晶体生长炉本体上端的晶体生长炉炉盖及设置于所述晶体生长炉本体底端的底板,其特征在于,所述晶体生长炉炉盖为如权利要求1-2任一项所述的晶体生长炉炉盖。
5.如权利要求4所述的晶体生长炉,其特征在于,所述底板为平面状结构。
6.如权利要求5所述的晶体生长炉,其特征在于,所述晶体生长炉炉盖包括连接端及与所述连接端相对应的开合端,且所述连接端通过铰轴铰接于所述晶体生长炉本体的开口端,所述开合端设有开合支板,所述晶体生长炉还包括与所述开合支板相连接的驱动装置。
7.如权利要求6所述的晶体生长炉,其特征在于,所述驱动装置具体为位于所述开合支板下方的液压缸,且所述液压缸的伸缩端与所述开合支板相连接。
8.如权利要求6所述的晶体生长炉,其特征在于,所述驱动装置具体为直线电机,且所述直线电机的伸缩端与所述开合支板相连接。
9.如权利要求6所述的晶体生长炉,其特征在于,若干所述加强筋均与所述开合支板相连接。
10.如权利要求9所述的晶体生长炉,其特征在于,还包括支撑于所述底板的多根支撑柱。
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