[发明专利]合成物方表面的全数值孔径图的方法

权利要求书

1.一种从表面的多个重叠子孔径数据图合成物方表面的全数值孔径图的方法，包括以下步骤：

a)选择减小所述重叠子孔径数据图的测量误差的至少一种方法；

b)从所述表面的多个区域采集所述多个子孔径数据图，至少每个子孔径数据图的一部分与至少一个相邻子孔径数据图的一部分重叠，以形成重叠数据区域；

c)将所述多个重叠子孔径数据图投影到具有标定畸变图的球坐标系统；

d)从由具有自由放大率范围的自由补偿器和具有相同限制放大率的互锁补偿器组成的两组中的至少一组选择多个误差补偿器，以补偿所述重叠子孔径数据图中的拼接误差；

e)同时通过选择的所述误差补偿器的线性组合，将所述重叠子孔径区域中所述数据图的每一个的不一致最小化。

2.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括过滤所述子孔径数据图，所述过滤发生在所述采集步骤之后、但在所述不一致最小化步骤之前，其中所述过滤从所述子孔径数据图中去除低空间频率形式。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述方法还包括优化所述重叠数据区域中的低空间频率偏差，其中所述低空间频率偏差用数学基本函数表示，每个数学基本函数用自由补偿器表示。

4.如权利要求1所述的方法，其中，所述方法还包括平均斜率依赖系统误差，其中所述子孔径数据图包括在重叠子孔径数据图中相同点上的不同局部斜率的重叠数据，以平均仪表的斜率依赖系统误差。