[发明专利]N型直拉硅单晶的工艺方法有效
| 申请号： | 201110171512.0 | 申请日： | 2011-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102220632A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 高文宽;郭凯;王辉;刘磊 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明;王宝筠 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 型直拉硅单晶 工艺 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种N型直拉硅单晶的工艺方法，其特征在于，在等径初期，采用的工艺条件包括：埚转为6-7rpm。
2.根据权利要求1所述的工艺方法，其特征在于，采用的工艺条件还包括：晶转为12-13rpm。
3.根据权利要求1或2所述的工艺方法，其特征在于，采用的工艺条件还包括：氩气流量为60-70slpm，炉内压力为14-16torr。
4.根据权利要求1或2所述的工艺方法，其特征在于，采用的工艺条件还包括：头部拉速为1.0-1.2mm/min。
5.根据根据权利要求1或2所述的工艺方法，其特征在于，在等径初期之前，放肩过程中形成的肩部高度为70-100mm，肩部夹角为34°-47°。
6.根据权利要求1工艺方法，其特征在于，所述等径初期为等径开始至100mm的阶段。
7.一种N型直拉硅单晶的工艺方法，其特征在于，在放肩过程中形成的肩部高度为70-100mm、肩部夹角为34°-47°；在等径初期，采用的工艺条件包括：
头部拉速为1.0-1.2mm/min；
氩气流量为60-70slpm、炉内压力为14-16torr；
埚转为6-7rpm、晶转为12-13rpm。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述等径初期为等径开始至100mm的阶段。
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