[发明专利]一种等离子体微波谐振腔

权利要求书

1.一种等离子体微波谐振腔，包括有谐振腔壳体和与其相联的波导装置，在谐振腔壳体的两端沿谐振腔轴向开设有同轴线的通孔，通过两端通孔安设有贯穿谐振腔腔体和两端通孔的玻璃内衬套，所述的玻璃内衬套包括玻璃直筒体和设置在玻璃直筒体两端的玻璃止挡环，其特征在于在玻璃直筒体的一端或两端设置外螺纹，玻璃止挡环通过其设置的螺孔与玻璃直筒体的端头相联。

2.按权利要求1所述的等离子体微波谐振腔，其特征在于所述的玻璃直筒体的一端设置与其相联成一体的固定玻璃止挡环，玻璃直筒体的另一端端头设置外螺纹，与设置螺孔的玻璃止挡环相联，构成一端为螺纹联接的玻璃止挡环。

3.按权利要求1或2所述的等离子体微波谐振腔，其特征在于所述的玻璃直筒体和玻璃止挡环均由石英玻璃制成。

4.按权利要求1或2所述的等离子体微波谐振腔，其特征在于所述的玻璃直筒体直径为30～80毫米，端头设置的外螺纹为细牙螺纹，螺距为3～0.85毫米，整个外螺纹的轴向长度为10～20毫米。

5.按权利要求1或2所述的等离子体微波谐振腔，其特征在于所述的玻璃止档环呈圆环形，螺孔与玻璃直筒体外螺纹相配置，玻璃止挡环的轴向厚度为3～15毫米，环体径向单边宽度为10～35毫米。

6.按权利要求1或2所述的等离子体微波谐振腔，其特征在于在玻璃直筒体一端或两端玻璃止挡环的内侧套装有活动玻璃挡圈。

7.按权利要求1或2所述的等离子体微波谐振腔，其特征在于所述的谐振腔壳体为圆柱型谐振腔壳体或同轴型谐振腔壳体。