[发明专利]在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件

权利要求书

1. 一种用于对样本进行成像的透射电子显微镜（100），所述透射电子显微镜示出其中形成样本的衍射图案（200）的衍射平面（118），所述衍射平面表示傅立叶域中的样本的图像，所述透射电子显微镜包括位于衍射平面中的阻挡部件（119）或其图像，所述阻挡部件阻挡傅立叶域的一部分，所述傅立叶域的被阻挡的部分沿着至少一个方向从低空间频率（1001）延伸至高空间频率（1002），

其特征在于

被阻挡部件阻挡的最高空间频率低于或等于最低空间频率，其中，在没有阻挡部件的情况下被成像的所述衍射平面的图像显示出约0.5的对比度传递。

2. 权利要求1的透射电子显微镜，其中，所述阻挡部件被连接到支撑臂。

3. 权利要求1的透射电子显微镜，其中，由薄膜来支撑所述阻挡部件，所述膜对于撞击电子而言是透明的。

4. 权利要求1的透射电子显微镜，其中，所述阻挡部件类似于矩形。

5. 权利要求1的透射电子显微镜，其中，阻挡部件类似于具有变化的宽度的梯形，其中衍射图案示出少量的未被衍射的电子，并且通过将未被衍射的电子束定位在具有适当宽度的阻挡部件的一部分附近来选择被阻挡的空间频率间隔。

6. 权利要求1的透射电子显微镜，其中，所述阻挡部件显示出离散数目的步幅，每个具有不同的宽度。

7. 权利要求1的透射电子显微镜，其中，所述阻挡部件类似于半圆。

8. 权利要求7的透射电子显微镜，其中，所述半圆显示出被连接到支撑臂的直边，并且所述支撑臂沿着垂直或平行于所述直边的方向延伸。

9. 前述权利要求1-8中的任一项所述的透射电子显微镜，其中，所述阻挡部件被放置在作为衍射平面的图像的平面中且其中形成衍射平面的变形图像。

10. 前述权利要求1-8中的任一项所述的透射电子显微镜，其中，所述阻挡部件被放置在作为衍射平面的图像的平面中，并且至少部分地由作为修正器光学装置的一部分的传递光学装置来实现衍射平面到所述平面上的成像，所述修正器光学装置用于修正形成衍射图案的透镜的像差。

11. 前述权利要求1-8中的任一项所述的透射电子显微镜，其中，所述阻挡部件的至少一部分被与地面电隔离，并被电连接到电流测量单元以便测量撞击在阻挡部件的至少一部分上的电流。

12. 权利要求11的透射电子显微镜，其中，使用电流测量来相对于阻挡部件对未被衍射的电子束进行定位。

13. 前述权利要求1-8中的任一项所述的透射电子显微镜，还包括用于将阻挡部件加热的装置。

14. 前述权利要求1-8中的任一项所述的透射电子显微镜，其中，所述衍射图案示出少量的未被衍射的电子，并且阻挡部件在其中未被衍射的电子束最接近于阻挡部件的位置处显示出凹痕，作为其结果，减少了阻挡部件的污染。

15. 一种在透射电子显微镜中使用阻挡部件的方法，所述方法包括： 

在透射电子显微镜的衍射平面中提供阻挡部件，所述阻挡部件阻挡衍射平面的一部分，

其特征在于

被阻挡部分沿着至少一个方向从低频到高频阻挡空间频率，所述高空间频率低于或等于最低空间频率，其中在没有阻挡部件的情况下成像的所述衍射平面的图像显示出约50%的对比度传递函数（1000）。