[发明专利]一种太阳电池P型表面的钝化层的制备方法

权利要求书

1.一种太阳电池P型表面的钝化层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1) 采用真空蒸镀的方法在太阳电池P型表面上制备铝膜；

(2) 利用阳极氧化法对上述铝膜进行氧化，形成氧化铝；

(3) 高温退火，即可得到氧化铝钝化层。

2.根据权利要求1所述的太阳电池P型表面的钝化层的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中铝膜的厚度为10~30 nm。

3.根据权利要求1所述的太阳电池P型表面的钝化层的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中的真空蒸镀是在真空室中进行，其真空度为10^-4~10^-5 mbar。

4.根据权利要求1所述的太阳电池P型表面的钝化层的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中，以表面镀有铝膜的硅片为阳极，以石墨、铂或钌为阴极，在电解液中加电压进行阳极氧化，形成氧化铝。

5.根据权利要求4所述的太阳电池P型表面的钝化层的制备方法，其特征在于：所述电解液选自草酸、硝酸和硫酸中的一种或几种，其浓度为0.2~1 mol/L。

6.根据权利要求1所述的太阳电池P型表面的钝化层的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中的退火温度为200~500 ℃。