[发明专利]用于对薄层的厚度进行无损测量的测量探头有效
申请号: | 201110174344.0 | 申请日: | 2011-04-22 |
公开(公告)号: | CN102278938A | 公开(公告)日: | 2011-12-14 |
发明(设计)人: | H·菲舍尔 | 申请(专利权)人: | 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 彭武;谭祐祥 |
地址: | 德国辛*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 薄层 厚度 进行 无损 测量 探头 | ||
1.一种用于对薄层厚度进行无损测量的测量探头,特别是针对通过开口可进入的空腔中的或在弯曲表面上的薄层,该测量探头具有测量头(17)并具有抓握元件(12),测量头(17)包括至少一个传感器元件(18)和分配到空腔(26)的待检查表面(27)上的传感器元件(18)上的至少一个接触球冠(31),抓握元件(12)用于在待检查表面(27)上和/或沿着待检查表面(27)定位和引导测量探头(11),特征在于,在抓握元件(12)上设置一种长的、弹性屈服的导杆(16),导杆(16)在它的与抓握元件(12)相对着的末端上接纳至少一个测量头(17,60),以这种方式,测量头是以相对于导杆(16)的至少一个自由度可移动的。
2.根据权利要求1的测量探头,其特征在于,至少一个测量头(17,60)布置在外壳(20)中,其被附连到导杆(16),从而使得其以至少一个自由度可移动。
3.根据权利要求2的测量探头,其特征在于,通过至少一个铰接轴线(21)连接所述外壳(20)和所述导杆(16),至少一个铰接轴线(21)垂直于测量头(17,60)的纵向轴线而被定向,测量头(17,60)的纵向轴线基本垂直于待检查表面(27)而被定向。
4.根据权利要求2的测量探头,其特征在于外壳(20),外壳(20)接收着测量头(17,60),并且通过球-插座关节(46)而互连所述导杆(16)。
5.根据权利要求1的测量探头,其特征在于,至少一个测量头(17,60)布置在载板(58)上,该载板(58)通过并排布置的多个条形弹簧元件(59)而保持住。
6.根据权利要求5的测量探头,其特征在于,条形弹簧元件(59)布置在载板上,并且经由连接元件(66)而以相对着的方式可连接到导杆(16)。
7.根据权利要求5的测量探头,其特征在于,在公共平面中并且以彼此相距的一定距离而并排地布置条形弹簧元件(59),并在载板(58)或探头单元的重心处相对于彼此地而施用所述条形弹簧元件。
8.根据权利要求5的测量探头,其特征在于,弹簧元件(59)是导电的。
9.根据权利要求5的测量探头,其特征在于,载板(58)置于外壳(20)中,并且弹簧元件(59)被布置成可从外壳(20)自由地移走。
10.根据权利要求5的测量探头,其特征在于,在载板(58)和外壳(20)之间布置一种能量存储元件(69),其结果是能量存储元件和该至少一个测量头(17,60)相对于外壳(20)以可沉入的方式安装。
11.根据权利要求1的测量探头,其特征在于,在邻近于至少一个测量头(17)处提供至少一个辅助杆(33),并且辅助杆(33)被形成为一种接触球冠,辊或滑动元件。
12.根据权利要求1的测量探头,其特征在于,通过磁感应方法、通过涡流方法或通过直流场方法,至少一个测量头(17)检测出层厚,并且至少一个另外的测量头(60)通过前述方法中的任一个来检测出层厚。
13.根据权利要求12的测量探头,其特征在于,当测量弯曲表面时,在相对于沿着待测量目标的弯曲表面(27)上的表面线进行测量的线上,两个测量头(17,60)相对于导杆(16)或抓握元件(12)而定位。
14.根据权利要求13的测量探头,其特征在于,提供两个辅助杆(33)和一种测量头(17,60)或两个不同的测量头(17,60)和一个辅助杆(33),它们一起形成三点支承。
15.根据权利要求11的测量探头,其特征在于,在至少一个测量头(17,60)和至少一个辅助杆(33)之间的区域中,铰接轴线(21)或球-插座关节(46)布置用于将外壳(20)连接到导杆(16),其结果是外壳(20)以可枢转方式保持在导杆(16)上。
16.根据权利要求11的测量探头,其特征在于,与离所述辅助杆(33)相比离所述测量头(17)更接近地定位连接着外壳(20)和导杆(16)或球-插座关节(46)的铰接轴线(21)。
17.根据权利要求1的测量探头,其特征在于,测量头(17)或测量头的传感器元件(18)布置为使得:其在沿着其纵向轴线的外壳(20)中至少是稍微可移动的。
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