[发明专利]检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法

权利要求书

1.一种检查板状透明体的缺陷的装置，使光照射到存在于板状透明体的第一表面上的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，该检查板状透明体的缺陷的装置具备以下部分：

第一发光器，其将光照射到上述板状透明体的第一侧面；

第二发光器，其将光照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面；

第一受光器，其接收由来自上述第一发光器的光产生的前方散射光；以及

第二受光器，其接收由来自上述第二发光器的光产生的前方散射光，

其中，上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度θ₁为0°＜θ₁≤60°

上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ₂为0°＜θ₂≤60°。

2.根据权利要求1所述的检查板状透明体的缺陷的装置，其特征在于，

还具备：

控制单元，其对上述第一发光器的照明光的输出强度以及上述第二发光器的照明光的输出强度进行控制，以使在从上述第一侧面至上述第二侧面为止的观测区域内，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到达观察部位的光量成为固定值；以及

计算装置，其预先存储与上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值对应的上述缺陷的深度，算出上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值，根据该积分值来算出上述缺陷的深度。

3.根据权利要求1或者2所述的检查板状透明体的缺陷的装置，其特征在于，

上述板状透明体是FPD用玻璃基板。

4.根据权利要求1或者2所述的检查板状透明体的缺陷的装置，其特征在于，

上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度θ₁为30°≤θ₁≤45°，

上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ₂为30°≤θ₂≤45°。

5.一种检查板状透明体的缺陷的方法，使光照射到存在于板状透明体的第一表面上的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，该检查板状透明体的缺陷的方法的特征在于，

将光从第一发光器照射到上述板状透明体的第一侧面，

将光从第二发光器照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面，

由第一受光器接收由照射到上述第一侧面的光产生的第一前方散射光，

由第二受光器接收由照射到上述第二侧面的光产生的第二前方散射光，

上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度θ₁为0°＜θ₁≤60°，

上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ₂为0°＜θ₂≤60°。

6.根据权利要求5所述的检查板状透明体的缺陷的方法，其特征在于，

对上述第一发光器的照明光的输出强度以及上述第二发光器的照明光的输出强度进行控制，以使在从上述第一侧面至上述第二侧面为止的观测区域内，由上述第一受光器和上述第二受光器接收的到达观察部位的光量成为固定值，

算出上述第一受光器和上述第二受光器的总受光量的积分值，根据该积分值来算出上述缺陷的深度。

7.根据权利要求5或者6所述的检查板状透明体的缺陷的方法，其特征在于，

上述板状透明体是FPD用玻璃基板。

8.根据权利要求5或者6所述的检查板状透明体的缺陷的方法，其特征在于，

上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度θ₁为30°≤θ₁≤45°，

上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ₂为30°≤θ₂≤45°。