[发明专利]激光诱致热成像用膜的去除装置有效
申请号: | 201110176821.7 | 申请日: | 2011-06-28 |
公开(公告)号: | CN102315393A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 梁相熙;金相午;将盛旭;金焕 | 申请(专利权)人: | AP系统股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 武晨燕;周义刚 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 诱致 成像 去除 装置 | ||
1.一种激光诱致热成像用膜的去除装置,其特征在于,包括:
基板台,该基板台上设置有基板;
辊单元,用于相继压制设置在该基板台上的供体薄膜;以及
喷射单元,设置于该基板台并在该供体薄膜和该基板之间喷射空气。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述喷射单元包括:穿过所述基板台的多个排气管;与该排气管连通的集气管;与该集气管连通的供气管;以及与该供气管连通并通过该供气管提供气动压的供气泵。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述排气管围绕所述基板设置。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述喷射单元根据所述辊单元的位置相继喷射空气。
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