[发明专利]一种外延层结深染色的校正方法无效
| 申请号： | 201110178386.1 | 申请日： | 2011-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102853789A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 张涛 | 申请（专利权）人： | 上海华碧检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00;G01B7/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 外延 层结深 染色 校正 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种外延层结深染色的校正方法，其特征在于：该校正方法包括以下步骤：
A、使用外延片晶圆制备出多份截面样品，并保证样品截面不被污染；
B、将截面样品浸泡入结染色液，选取一组时间条件进行浸泡；
C、把不同染色时间的截面样品放入扫描电子显微镜中进行深度测量，得出不同深度值并记录；
D、使用扩展电阻仪测出不同染色时间的截面样品外延层结的深度值，并记录；
E、对比扫描电子显微镜测量的结深值与扩展电阻仪测量的外延层结深值，选取两种测量方法误差最小的时间值作为最优时间值，该最优时间值即为校正出的最适合的染色时间。
2.根据权利要求1所述的一种外延层结深染色的校正方法，其特征在于：所述步骤B中的染色液为HF∶HNO3＝1∶100的混合溶液。
3.根据权利要求2所述的一种外延层结深染色的校正方法，其特征在于：所述HF的浓度为49％，所述HNO3的浓度为79％。
4.根据权利要求1所述的一种外延层结深染色的校正方法，其特征在于：所述步骤B中选取的时间为45S、60S、75S、90S、120S、150S、180S。
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