[发明专利]一种高重量比能量密度微能源系统、方法及其应用

权利要求书

1.一种高重量比能量密度微能源系统，其特征在于所述的微能源系统的组成为：

(1)在GaAs电池背表面溅射生长Al薄膜；

(2)在Al膜表面溅射沉积氮化镍钴，其通式为Co_mNi_1-mN，式中0＜m＜1；

(3)在氮化镍钴薄膜表面溅射沉积Li_1.3Ti_1.7Al_0.3(PO₄)₃薄膜；

(4)在Li_1.3Ti_1.7Al_0.3(PO₄)₃薄膜上沉积金属Li薄膜；

(5)在Li薄膜表面溅射成膜一层Cu薄膜；

(6)溅射(2)～(5)时在Al膜表面用不锈钢掩模板紧贴在露出未覆盖多层膜的Al表面，依次安装能源管理电路和RF收发模块，用金线连接GaAs电池正极、Li电池阳极、能源管理电路输出端和RF收发模块输出端。

2.按权利要求1所述的系统，其特征在于：

(a)所述的Al薄膜厚度为150-350nm；

(b)所述的Co氮化镍钴薄膜层的厚度为800-1000nm；

(c)所述的Li_1.3Ti_1.7Al_0.3(PO₄)₃薄膜的厚度为1500-1700nm；

(d)所述的金属Li薄膜的厚度为1000-1200nm；

(e)所述的Cu膜厚度为500-800nm。

3.按权利要求1所述的系统，其特征在于：

a)在未覆盖多层膜的Al表面安装能源管理电路，使得一电路输出端与Al相连。能源管理电路为采用富晶电子股份有限公司的FSA582充电管理芯片构建的电路，电路背面导电胶和不导电胶与Al表面粘结，导电胶连接电路输出端之一与Al表面，不导电胶连接电路背面不导电端与Al线；能源管理电路另外的输出端与RF模块和Cu相连；

b)在未覆盖多层膜的Al表面安装用于数据传输的RF模块，单元模块电路由Chipcon公司生产的低功耗、短距离的无线通信模块CC2420组成，可将探测到的温度、湿度等信息发送出，每8小时发送1次，每次发送脉冲电流1A，48ms，待机电流为40mA，输出电压3.3V；RF模块一输出端通过导电胶与Al薄膜相连，另外一输出端通过Au线与GaAs正极、能源管理电路输出端相连。连接手段采用wire bonding方法，连接材料为Au线。

4.按权利要求3所述的系统，其特征在于能源管理电路或RF收发模块与Au线的连接采用引线键合方法。