[发明专利]一种提高太阳能电池RIE均匀性的制绒设备及方法

权利要求书

1.一种提高太阳能电池RIE均匀性的制绒设备，包括反应腔、顶部气体管 路(1)和喷淋头(2)，电池片(4)放置在反应腔内，喷淋头(2)位于反应腔 的顶部，反应气体通过顶部气体管路(1)输送，从喷淋头(2)进入反应腔， 其特征是：在所述的反应腔侧壁(3)上设置侧壁气体管路(5)，在顶部气体管 路(1)和侧壁气体管路(5)上都设置单独的流量控制器(6)，可分别调整流 量。

2.根据权利要求1所述的一种提高太阳能电池RIE均匀性的制绒设备，其 特征是：所述的反应腔侧壁(3)两侧都设置侧壁气体管路(5)。

3.一种提高太阳能电池RIE均匀性的方法，其特征是：使用权利要求1所 述的制绒设备，如果边缘反射率较高则可增加侧壁气体管路流量，反之则降低 侧壁气体管路流量。

4.根据权利要求3所述的提高太阳能电池RIE均匀性的方法，其特征是： 侧壁气体流量与喷淋头气体流量比例为0.5～1.5之间。