[发明专利]LED磊晶结构无效
申请号: | 201110181775.X | 申请日: | 2011-06-30 |
公开(公告)号: | CN102856454A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 林雅雯;黄世晟;凃博闵;黄嘉宏;杨顺贵 | 申请(专利权)人: | 展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/20;H01L33/00 |
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地址: | 518109 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 结构 | ||
1.一种LED磊晶结构,包括一个基板、一个缓冲层以及一个磊晶层,所述缓冲层成长在所述基板的顶面,所述磊晶层成长在所述缓冲层的顶面,其特征在于:所述磊晶层包括一个第一N型磊晶层以及一个第二N型磊晶层,所述第一、二N型磊晶层之间形成一个阻挡层,所述阻挡层具有图型化沟槽设置,使所述第一、二N型磊晶层通过所述沟槽接触连接,所述第二N型磊晶层上依序成长一个发光层、一个P型磊晶层以及一个导电层。
2.如权利要求1所述的LED磊晶结构,其特征在于:所述导电层的顶面上具有一个P型电极设置,所述P型电极包括打线端以及延长端,所述打线端位于所述导电层的一个侧边上,所述延长端以图型化设置。
3.如权利要求2所述的LED磊晶结构,其特征在于:所述延长端与所述沟槽图型化相对应,并在所述磊晶层的顶面与内部交错设置。
4.如权利要求2所述的LED磊晶结构,其特征在于:所述P型电极的相对侧具有一个N型电极设置,所述N型电极设置于所述阻挡层或是所述第一N型磊晶层上。
5.如权利要求1所述的LED磊晶结构,其特征在于:所述基板为蓝宝石基板。
6.一种LED磊晶制程,其包括以下的步骤:
提供一个基板,在所述基板上生长一个缓冲层,并在所述缓冲层的顶面成长一个第一N型磊晶层;
成长一个阻挡层,以无掺杂或低掺杂成长在所述第一N型磊晶层的顶面;
蚀刻阻挡层,在所述阻挡层形成图型化沟槽,并使所述沟槽到达所述第一N型磊晶层;
成长一个第二N型磊晶层,在所述阻挡层的顶面,并通过所述沟槽与所述第一N型磊晶层接触;
依序成长磊晶层,在所述第二N型磊晶层的顶面,成长一个发光层、一个P型磊晶层以及一个导电层;及
设置电极,在所述磊晶层蚀刻至所述阻挡层或所述第一N型磊晶层,设置一个N型电极,及在所述导电层设置一个P型电极。
7.如权利要求6所述的LED磊晶制程,其特征在于:所述提供一个基板步骤中,所述缓冲层为III族氮化合物半导体,所述第一N型磊晶层为III族氮化合物半导体接触层。
8.如权利要求6所述的LED磊晶制程,其特征在于:所述成长一个阻挡层步骤中,所述阻挡层为无掺杂或低掺杂III族氮化合物半导体电子阻挡层。
9.如权利要求6所述的LED磊晶制程,其特征在于:所述成长一个第二N型磊晶层步骤中,所述第二N型磊晶层为III族氮化合物半导体层。
10.如权利要求6所述的LED磊晶制程,其特征在于:所述依序成长磊晶层步骤中,所述发光层为活性层,所述P型磊晶层为III族氮化合物半导体接触层,所述导电层为透明导电层。
11.如权利要求6所述的LED磊晶制程,其特征在于:所述设置电极步骤中,在所述磊晶层的一个侧边上,蚀刻一个打线端大小的范围设置所述N型电极。
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