[发明专利]用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置

权利要求书

1.用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置（V），包括

基片（S），

试验块（1），该试验块（1）以活动的方式优选有弹性地布置在所述基片（S）上，

转换装置（E、5c、6c 、6a、6b、W_S、W_H），所述转换装置（E、5c、6c 、6a、6b、W_S、W_H）用于借助于压电效应将作用于所述试验块（1）的力转换为优选电气的信号，

力加载器件（3a、3b）尤其电极，用于向所述试验块（1）加载额外的力，

用于控制所述力加载器件（3a、3b）的控制器件（7），其中所述控制器件（7）如此控制所述力加载器件（3a、3b），从而暂时地尤其周期性地向所述试验块（1）加载所述额外的力。

2.至少按权利要求1所述的微机械的传感器装置，其中所述力加载器件（3a、3b）靠近所述试验块（1）来布置，尤其基本上垂直于和/或平行于所述试验块（1）的偏移的方向来布置。

3.至少按权利要求1所述的微机械的传感器装置，其中所述用于借助于压电效应来转换力的转换装置（E、5c、6c 、6a、6b、W_S、W_H）包括用于进行压阻的探测的器件（W_S、W_H、N）和/或用于进行压电的探测的器件（E）。

4.至少按权利要求1所述的微机械的传感器装置，其中所述转换装置（E、5c、6c 、6a、6b、W_S、W_H）包括至少一个尤其构造为横梁的形式的悬架（6a、6b、6c），所述悬架（6a、6b、6c）以活动的方式将所述试验块（1）固定在所述基片（S）上。

5.至少按权利要求3和4所述的微机械的传感器装置，其中所述用于进行压阻和/或压电的探测的器件（W_S、W_H、N、E）布置在所述至少一个悬架（6a、6b、6c）上。

6.至少按权利要求3或4所述的微机械的传感器装置，其中所述用于进行压阻和/或压电的探测的器件（W_S、W_H、N、E）包括纳米线（N），所述纳米线（N）尤其垂直于所述悬架（6a、6b、6c）来布置。

7.至少按权利要求1所述的微机械的传感器装置，其中所述用于进行压阻和/或压电的探测的器件（W_S、W_H、N、E）包括均匀的和/或结构化的构造为电阻（W_S、W_H）的形式的区域。

8.至少按权利要求1所述的微机械的传感器装置，其中所述转换装置（E、5c、6c 、6a、6、W_S、W_H）构造用于对力进行有差别的探测。

9.至少按权利要求1所述的微机械的传感器装置，其中设置了用于提高敏感性的器件（H）。

10.至少按权利要求9所述的微机械的传感器装置，其中所述用于提高敏感性的器件（H）以至少一个杠杆臂（H）的形式来布置。

11.用于测量加速度、压力或者类似参数的方法，尤其适合于在按权利要求1-10中至少一项所述的装置上来执行，该方法包括以下步骤：

外力由于外部的加速度而作用于（S₁）以活动的方式尤其有弹性地布置在基片（S）上的试验块（1），

借助于压电效应将作用于所述试验块（1）的力转换（S₂）为优选电气的信号，

暂时地尤其周期性地向所述试验块（1）加载（S₃）额外的力，以及

对所述优选电气的信号进行分析（S₄）并且根据所分析的信号来提供（S₅）加速度信号。

12.按权利要求11所述的方法，其中

尤其在时间上分散地或者连续地分析（S₄）所述电气的信号。

13.至少按权利要求11所述的方法，其中

借助矩形的或者正弦状的信号或者伪噪声信号来向所述试验块（1）暂时地加载（S₃）所述额外的力。