[发明专利]微型针装置的制造方法和相应的微型针装置及其应用

权利要求书

1.制造微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’;22’’’）的方法，具有下述步骤：

- 在基质（1）上形成具有栅格接片（100’、110’；100’’、110’’;100’’’、100’’’），具有相应的栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）和位于其中间的栅格开口（10’b；10’’b；10’’’b）的栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’）；

- 在使用蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’；11’’’；12’’’；13’’’；14’’’）的情况下在基质（1）上实施用于形成微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’）的蚀刻工序；

- 取下蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’；11’’’；12’’’；13’’’；14’’’）；

其特征在于，

栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’）在栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）的至少一部分上具有平面的加强区域（115’；115’’a；115’’b），其超出栅格接片（100’、110’；100’’、110’’;100’’’、110’’’）地延伸。

2.按照权利要求1所述的制造方法，其中，栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’）具有有不同面积延伸的至少第一和第二平面的加强区域（115’’a；115’’b），并且其中，蚀刻工序是如此进行的，即微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’）具有有不同的第一和第二高度（h1，h2）的相应的第一和第二微型针（200’’a，200’’b）。

3.按照前述权利要求中的任一项所述的制造方法，其中，基质（1）是硅基质，栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’）形成为氧化物掩模。

4.按照前述权利要求中的任一项所述的制造方法，其中，栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）的一部分没有平面的加强区域（115’；115’’a；115’’b）。

5.按照权利要求4所述的制造方法，其中，栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）的没有平面的加强区域（115’；115’’a；115’’b）的那部分位于栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’）的内部区域中。

6.微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’），具有多个在基质（1）上形成的微型针（200’’a、200’’b；200’’a，200’’’b、200’’c），这些微型针具有不同的高度（h1、h2；h1、h2、h3）。

7.按照权利要求6所述的微型针装置（20’；20’’；21’’’；22’’’），这些微型针装置具有有不同的第一和第二高度（h1、h2）的至少第一和第二微型针（200’’a、200’’b）。

8.按照权利要求7所述的微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’），其中，第一和第二高度（h1、h2）的高度差在20%至50%的范围中。

9.按照权利要求6所述的微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’），所述微型针装置具有有不同的第一、第二和第三高度（h1、h2、h3）的第一、第二和第三微型针（200’’’a、200’’’b、200’’’c）。

10.按照权利要求9所述的微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’），其中，第三微型针（200’’’c）具有为最小高度的第三高度（h3），并且其中，只在微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’）的内部区域中设置第三微型针（200’’’c）。

11.按照权利要求6所述的微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’），将其设计用于对人体或者动物体进行纹身。

12.将具有多个在基质（1）上形成的，且具有不同高度（h1、h2；h1、h2、h3）的微型针（200’’a、200’’b；200’’a、200’’’b、200’’’c）的微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’）用于对人体或者动物体进行纹身。