[发明专利]磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法

权利要求书

1.磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，其特征在于磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法是按下述步骤进行的：

步骤一、将不锈钢衬底依次用丙酮、乙醇和去离子水超声清洗；

步骤二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空至真空度达到1.0×10^-7～9.9×10^-7Pa，启动加热装置，加热至200～600℃后保温10～30分钟；

步骤三、然后向真空仓内通入氩气至真空仓内压强为3～5Pa，对不锈钢衬底表面进行反溅清洗3～5分钟；

步骤四、再施加溅射功率启辉，溅射功率为120～160W，调节氩气的气体流量为50～100sccm，PH₃的气体流量为3～50sccm，高纯硼作溅射靶材，移开挡板向不锈钢衬底表面镀膜，镀膜结束后，关闭所有电源，待真空仓内温度降至室温时即制得磷化硼耐磨耐蚀涂层。

2.根据权利要求1所述的磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，其特征在于步骤二所述加热温度为550℃。

3.根据权利要求1所述的磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，其特征在于步骤四的溅射功率为140W。

4.根据权利要求1、2或3所述的磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，其特征在于步骤四所述PH₃的气体流量为10～40sccm。

5.根据权利要求1、2或3所述的磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，其特征在于步骤四所述PH₃的气体流量为20sccm。

6.根据权利要求1、2或3所述的磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，其特征在于步骤四所述PH₃的气体流量为30sccm。