[发明专利]一种用于纯水干燥硅片的清洗机

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于纯水干燥硅片的清洗机。

背景技术

目前在硅片清洗中，主要采用离心甩动干燥和切水剂分离干燥。

1：离心甩动干燥：须要专人把潮湿的硅片从清洗槽中取出，且需要一台提供压缩空气的油压机，高压气体从中间吹击四周硅片，保证水能从硅片上顺利飞离。

此方法每台设备需要多一名员工操作，且在实际生产过程中很易将压缩机机中的油经过空气喷射到硅片上，形成脏片。此脏片在目测检测时很难发现，需要至电池端到酸液或者碱液中制绒后，方可显现出来，产生的报废片较多。且离心甩干机在拿放多晶硅片至其中时特别不方便，经常造成不必要的破片。

2：切水剂分离干燥：首先切水剂为碳氢化合物，易燃易爆，使用时安全隐患很大，使用后处理对坏境污染有一定影响，且需要人工每2小时对下部脏水排出，在槽中加入新切水剂(一般每升切水剂8到10人民币，每洗1.5万片大约需要20升)；对劳动力有一定占用，生产投入较大。

现在国内外行业内尚无同时解决清洗后硅片干燥所带来的脏片无法检测、劳动力浪费、无隐患生产以及成本较高的积极有效方法的报道。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种用于纯水干燥硅片的清洗机，消除生产过程中的安全隐患，降低生产成本，降低硅片清洗破片率、脏片率和后续电池加工的报废率。

本发明解决其技术问题所采用的方案是：一种用于纯水干燥硅片的清洗机，包括清洗机机台，机台内具有多道清洗槽，机台末道的清洗槽与纯水输送管道连接，纯水输送管道向该清洗槽内输入纯水，在该清洗槽内设置加热管，将纯水加热至70℃～80℃度。

在纯水输送管道上设置储液箱，在储液箱内设置预加热管，对输送的纯水进行预加热。

机台末道的清洗槽为溢流槽。

本发明的有益效果是：1、使用热纯水代替了切水剂，从根本上消除了企业的安全隐患，降低了人员的工作量和在加切水剂时产生的不必要的破片，且使用后的纯水可以直接排出，对环境无任何污染；2、通过使用热水的方法使硅片变热，从而进入烘箱时，更易干燥；3、通过使用纯净热水，相当于增加了一道清洗，使发生脏片的概率更低，且通过使用水为清洗剂清洗，对油污等近乎无任何溶解性，当出现硅片车间经常出现的油污片时，很易发现，降低硅片车间的脏片率，为硅片在电池端的良率进一步提供了保证。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明；

图1是本发明的结构示意图；

图中，1、加热管、2.预加热管，3、储液箱，4、清洗槽。

具体实施方式

如图1所示，一种用于纯水干燥硅片的清洗机，包括清洗机机台，机台内具有多道清洗槽，机台末道的清洗槽4与纯水输送管道连接，纯水输送管道向该清洗槽4内输入纯水，在该清洗槽4内设置加热管1，将纯水加热至70℃～80℃度。

在纯水输送管道上设置储液箱3，在储液箱3内设置预加热管2，对输送的纯水进行预加热。

机台末道的清洗槽4为溢流槽。

硅片清洗过程如下：

(一)、对一多晶棒或单晶棒切片后，送至预清洗进行清洗。预清洗一共四槽：

①：第一槽采用0.1～0.2MPa喷淋水压喷淋，主要为了把清水射进硅片之间，把硅片之间的砂浆进行一个初期的清洗；

②：第2#和3#槽采用清水溢流，并在槽底装有超声震板，主要为了把喷淋下来的还附在硅片表面的砂浆，溢流清洗；

③：第4#槽为脱胶槽，溶液为50％乳酸对50％清水，溶液多少按照槽的大小来定.主要为把硅片与玻璃板粘接的胶软化，从而使硅片和玻璃板分离。

(二)、从预清洗出来后，预清洗操作员工把脱完胶的硅片抱入本发明的清洗机的插片槽。清洗操作员工把待清洗硅片，插入片盒中，再按规定装入铁篮中，进入设备中进行清洗。本发明的清洗机一共7槽：

①：第1#和2#采用清水溢流，且在槽底装有超声震板。

目的：把片盒中，分开后硅片表面的砂浆进行清洗。

②：第3#和4#为清洗剂，清洗剂成分为YZ-16和NaOH两种，槽下装有超声震板。

目的：把硅片切割时，线痕纹理中的砂浆进行清洗。

③：第5#和6#槽为纯水溢流，槽下装有超声震板。

目的：把硅片表面清洗后，残留在硅片表面的清洗液清洗干净。