[发明专利]位置测量系统和装配方法

权利要求书

1.一种位置测量系统，用于沿着测量方向（W）测量第一机器部件（8）相对于第二机器部件（9）的相对位置，具有：

- 测量分度器（1）的支架（11），该支架可装配在第一机器部件（8）上；

- 用于扫描测量分度器（1）的探测头（2），该探测头可装配在第二机器部件（9）上；

- 装配辅助机构（3），利用该装配辅助机构将测量分度器（1）的支架（11）在装配位置固定在探测头（2）上，从而测量分度器（1）的支架（11）和探测头（2）可作为共同的单元来操作，且可在这种配设情况下装配在机器部件（8、9）上；

其特征在于，装配辅助机构（3）具有：

    - 第一区段（31），该第一区段在装置时位置固定地，而在进行装配之后则可松开地固定在测量分度器（1）的支架（11）上；和

    - 第二区段（33），该第二区段在装置时位置固定地，而在进行装配之后则可松开地固定在探测头（2）上；和

    - 在第一区段（31）与第二区段（33）之间的至少一个调节装置（4、5），所述调节装置经过构造，使得可在至少一个自由度（X、Y）上调整测量分度器（1）的支架（11）相对于探测头（2）的装配位置，所述自由度不同于测量方向（W）。

2.如权利要求1所述的位置测量系统，其特征在于，至少一个调节装置（4、5）经过构造，使得能进行直线的移调运动（X、Y）。

3.如权利要求2所述的位置测量系统，其特征在于，至少一个调节装置（4、5）具有由多个可转向的转向器（42~45、52~55、46~49）构成的总成和移调部件（41、51）。

4.如权利要求3所述的位置测量系统，其特征在于，转向器（42~45、52~55、46~49）相对于直线的移调运动（X、Y）的方向镜像对称地布置，其中设置至少四个转向器（42~45、52~55、46~49）。

5.如前述权利要求中任一项所述的位置测量系统，其特征在于，在第一区段（31）与第二区段（33）之间设置有多个调节装置（4、5），从而可在多个自由度（X、Y）上相互独立地调整测量分度器（1）的支架（11）相对于探测头（2）的装配位置。

6.如权利要求5所述的位置测量系统，其特征在于，一个调节装置（5）设置在第一区段（31）与装配辅助机构（3）的基体（6）之间，用于在一个自由度（Y）上进行调整，另一个调节装置（4）设置在装配辅助机构（3）的基体（6）与第二区段（33）之间，用于在第二自由度（X）上进行调整。

7.如权利要求6所述的位置测量系统，其特征在于，利用一个调节装置（5），第一区段（31）在第一直线的自由度（Y）上可调整地与基体（6）连接，利用另一个调节装置（4），第二区段（33）在另一直线的自由度（X）上可调整地与基体（6）连接。

8.如前述权利要求5至7中任一项所述的位置测量系统，其特征在于，测量分度器（1）是用于在旋转的测量方向（W）上围绕旋转轴线（D）进行位置测量的径向分度器，利用一个调节装置（4）来实现在径向上进行直线的移调运动（X），利用另一个调节装置（5）来实现与测量方向（W）相切地进行直线的移调运动（Y）。

9.一种用于将测量分度器（1）的支架（11）和位置测量系统的探测头（2）装配在两个机器部件（8、9）上的方法，可在测量方向（W）上测量所述两个机器部件的相对位置，其中在装配时使得测量分度器（1）的支架（11）在装配位置配属于探测头（2），其特征在于如下方法步骤：

- 将测量分度器（1）的支架（11）位置固定地固定在装配辅助机构（3）的第一区段（31）上，且将探测头（2）位置固定地固定在装配辅助机构（3）的第二区段（33）上；

- 利用至少一个整合在装配辅助机构（3）中的调节装置（4、5），在不同于测量方向（W）的至少一个自由度（X、Y）上，相对于第二区段（33）移调第一区段（31）的位置，由此调整装配位置；

- 在装配位置，将测量分度器（1）的支架（11）位置固定地固定在一个机器部件（8）上，且将探测头（2）位置固定地固定在另一个机器部件（9）上；

- 从装配辅助机构（3）的第一区段（31）松开对测量分度器（1）的支架（11）的固定，并装配辅助机构（3）的第二区段（33）松开对探测头（8）的固定，由此取下装配辅助机构（3）。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，利用装配辅助机构（3）的多个调节装置（4、5）来调整装配辅助机构（3）的第一区段（31）相对于装配辅助机构（3）的第二区段（33）的位置，其中利用一个调节装置（4）在第一自由度（X）上进行调整，与此无关地，利用另一个调节装置（5）在第二自由度（Y）上进行调整。