[发明专利]自紧式籽晶夹头无效
申请号: | 201110186251.X | 申请日: | 2011-07-04 |
公开(公告)号: | CN102312288A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 朱亮;曹建伟;邱敏秀;王魏;陶川川 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 籽晶 夹头 | ||
技术领域
本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备,特别涉及一种自紧式籽晶夹头。
背景技术
直拉硅单晶炉在生产中,是通过籽晶夹头来固定籽晶的。现有技术中,籽晶夹头有多种形式,但均存在结构复杂、操作不便的问题。
中国实用新型专利CN201560249U公开了一种籽晶夹头结构:在锥形固定套内设有籽晶固定杆,在籽晶固定杆的外面设有锥形紧缩垫片,水冷晶杆设置于籽晶固定杆的上方,水冷晶杆的下面设垫片,垫片的下面设垫环,垫环套在籽晶固定杆的最上端与锥形紧缩垫片的上端相连。当拧紧锥形固定套时,锥形紧缩垫片压紧籽晶固定杆实现固定。但该籽晶夹头结构存在的缺点是:整个夹头对籽晶固定杆的紧固力由锥形紧缩垫片完成,这就对锥形固定套拧紧程度提出要求,如在拉晶过程中发生松动,势必造成严重生产事故。此外,该夹头结结构相对而言仍嫌复杂,拆卸操作不便。
发明内容
本发明要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种自紧式籽晶夹头。
为解决技术问题,本发明的方案是:
提供一种自紧式籽晶夹头,包括套筒和环设于套筒内壁的夹片,套筒内壁向下具有朝轴心收缩的锥度,夹片具有与该锥度相配合的外部形状;夹片内部上端开口的内径要大于其下端开口的内径,上端开口与下端开口之间的夹片内壁以锥面过渡。
作为一种改进,所述夹片至少有两片。
作为一种改进,所述夹片是两片半圆石墨片。
作为一种改进,所述夹片是石墨夹片。
作为一种改进,所述套筒是钼材料套筒。
作为一种改进,所述套筒内壁向下且朝轴心收缩的锥度为0.5°~2°。
作为一种改进,所述套筒内壁向下且朝轴心收缩的锥度为1°。
本发明的有益效果是:
自紧式籽晶夹头通过结构上的锥度配合设计,在使用时通过利用籽晶重力使各部件自动拉紧,拉晶过程中籽晶不断增重,摩擦力也不断增大,越不会出现打滑。
更为重要的是,由于籽晶夹头部件少、结构已做到最简化,因此本发明在使用中,操作非常方便。在使用前,只需对籽晶进行简单预处理,将其上端部加工为与夹片内壁锥度相配合的形状,籽晶上端部略高或略低于夹片都不会影响使用效果。在拉晶结束待籽晶冷却后,将籽晶向上松,高出套筒,两瓣夹片自动松开,然后取出夹片,籽晶即可从套筒下端口取出,非常方便。
附图说明
图1为套筒的俯视图;
图2为籽晶头部的形状示意图;
图3为自紧式籽晶夹头的夹紧状态示意图。
附图标记:1套筒,2夹片,3籽晶。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式进行详细表述。
本发明中的自紧式籽晶夹头,包括钼材料的套筒1和环设于套筒1内壁的高强度石墨材质的两片半圆的夹片2,套筒1内壁向下具有朝轴心收缩的的锥度,该锥度可设定为0.5°~2°之间(优选为1°),夹片2具有与该锥度相配合的外部形状;夹片2内部上端开口的内径要大于其下端开口的内径,上端开口与下端开口之间的夹片内壁则以锥面过渡。
在单晶炉拉晶前,在套筒1内装入两瓣石墨夹片2,夹片2中间穿过籽晶3,在籽晶3自身重力下,两片夹片2在套筒1内壁倾角作用下受到挤压,实现对籽晶的自紧加持。拉晶过程中,籽晶3越来越重,套筒1、夹片2、和籽晶3三者间的摩擦力也不断增大,自紧力也越大,而籽晶3随着重锤的同步旋转也就越稳。拉晶结束待籽晶3冷却后,将籽晶3向上松,高出套筒1,两瓣夹片2自动松开。然后取出夹片2,籽晶3从套筒1的下端口取出即可。
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