[发明专利]一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法

权利要求书

1.一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法，其特征在于，包括如下过程：

（1）磁悬浮分子泵的转子失稳后，磁悬浮分子泵控制器切换到失稳恢复控制器，所述失稳恢复控制器关闭磁悬浮分子泵电机，并利用电机刹车系统使电机迅速降速；

（2）所述失稳控制器关闭磁悬浮分子泵抽气口和前级机械泵抽气阀，然后打开磁悬浮分子泵放气阀放入空气，随后关闭所述磁悬浮分子泵放气阀；

（3）根据所述转子重心位置不同，选择首先恢复所述转子在下径向或上径向上正常悬浮，然后恢复所述转子在另一径向上的正常悬浮；所述转子在下径向和上径向均能正常悬浮后，恢复所述转子在轴向正常悬浮，从而实现所述转子重新悬浮；

（4）所述转子重新悬浮后，磁悬浮分子泵控制器切换到正常工作控制器，打开前级机械泵抽气阀继续抽气，重新启动磁悬浮分子泵电机，利用真空计测量分子泵的泵体内的真空度，当分子泵泵体内的真空度达到要求后，打开所述磁悬浮分子泵抽气口，恢复所述磁悬浮分子泵正常工作。

2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法，其特征在于：在所述步骤（3）中，所述转子的重心在所述上径向磁轴承和所述下径向磁轴承之间，设上径向磁轴承和下径向磁轴承之间的距离为L，所述转子的重心位置可能的状态如下：

A状态：所述转子的重心与上径向磁轴承之间的距离为[0,0.25L）;

B状态：所述转子的重心与上径向磁轴承之间的距离为[0.25L,0.5L);

C状态：所述转子的重心与上径向磁轴承之间的距离为(0.5L,0.75L);

D状态：所述转子的重心与上径向磁轴承之间的距离为[0.75L,L];

E状态：所述转子的重心在上径向磁轴承与下径向磁轴承之间中点处，即其与上径向磁轴承之间的距离为0.5L；

如果所述转子的重心位置为A状态或C状态时，首先恢复所述转子在下径向悬浮，然后恢复所述转子在上径向悬浮，所述转子在下径向和上径向均能正常悬浮后，恢复轴向悬浮，从而实现转子重新悬浮；

如果所述转子的重心位置为B状态或D状态时，首先恢复所述转子在上径向悬浮，然后恢复所述转子在下径向悬浮，所述转子在下径向和上径向均能正常悬浮后，恢复轴向悬浮，从而实现转子重新悬浮；

如果所述转子的重心位置为E状态时，可以首先恢复所述转子在上径向悬浮，也可以首先恢复所述转子在下径向悬浮，然后恢复所述转子在另一径向悬浮，所述转子在下径向和上径向均能正常悬浮后，恢复轴向悬浮，从而实现转子重新悬浮。