[发明专利]用于高数值孔径物镜的圆环达曼光栅

权利要求书

1.一种用于高数值孔径物镜的圆环达曼光栅，特征在于其构成是中心对称的同心圆环的多区结构，该多区的相位分布自内向外依次按0、π相间分布，该圆环达曼光栅的通光孔径与对应的高数值孔径聚焦物镜的通光孔径一致，在圆偏振态平面波入射、数值孔径为0.9和对应不同级次环形光斑的前提下，该圆环达曼光栅的二元相位结构的同心圆环的归一化半径分别为：

1阶1环且中心为暗斑，对应的归一化半径依次为0，0.67212，0.99783和1；

1阶1环且中心为亮斑，对应的归一化半径依次为0，0.55907，0.98823和1；

2阶2环且中心为暗斑，对应的归一化半径依次为0，0.00331，0.21620，0.70375，0.99195和1；

2阶2环且中心为亮斑，对应的归一化半径依次为0，0.18064，0.52809，0.91447，0.99684和1；

3阶3环且中心为暗斑，对应的归一化半径依次为0，0.22775，0.31743，0.60057，0.88606，0.90080，0.91753和1。