[发明专利]一种垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置有效
| 申请号： | 201110188070.0 | 申请日： | 2011-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN102220569A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 江风益;刘军林;蒲勇;方文卿;王立 | 申请（专利权）人： | 南昌黄绿照明有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 张文 |
| 地址： | 330047 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 气流 mocvd 气体 输运 喷头 装置 | ||
1.一种垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，包括一个由顶板、侧壁和底板组成的封闭型外壳，封闭型外壳的内部被上中层板和下中层板分成三个独立且相互密封的部分，分别为保温腔、气体混合室和水冷腔，位于下中层板和底板之间的进气孔将气体混合室和进气孔的出气口下方的反应室连通，进气孔负责将气体混合室内混合好的反应气体输运到反应室中，在水冷腔两端对应的侧壁上分别安装有冷却水进水管和冷却水出水管，其特征在于：在气体混合室对应的侧壁上安装有第一进气管和第二进气管，第一进气管和第二进气管负责将两种类型的气体分别输运到气体混合室内，在第一进气管和第二进气管的外壁均缠有加热带。
2.根据权利要求1所述的垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，其特征在于：相向的第一进气管和第二进气管分别安装在气体混合室两端对应的侧壁上。
3.根据权利要求1所述的垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，其特征在于：同向的第一进气管和第二进气管分别安装在气体混合室对应的同一边侧壁上。
4.根据权利要求1所述的垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，其特征在于：在气体混合室对应的侧壁上安装有带第一进气管和第二进气管的进气管三通。
5.根据权利要求2或3或4所述的垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，其特征在于：在保温腔两端对应的侧壁上分别安装有保温液进液管和保温液出液管，在保温腔内装作为保温液的水，加热气体混合室内的反应气体的温度控制在30-90℃范围，或在保温腔内装作为保温液的油，加热气体混合室内的反应气体的温度控制在30-150℃范围。
6.根据权利要求5所述的垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，其特征在于：进气孔的出气口到衬底的距离设为10-20mm。
7.根据权利要求1所述的垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，其特征在于：缠在第一进气管1和第二进气管12上的加热带2将反应气体加热，温度控制在30-100℃范围。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
