[发明专利]具有叠加准周期条阵结构的声表面波器件

权利要求书

1.一种具有叠加准周期条阵结构的声表面波器件，包括有源部分、无源部分、元件部分和空白部分，其特征在于：器件芯片表面叠加准周期条阵结构，所述条阵结构叠加在器件电极结构上方，器件有源部分垂直于声表面波传播方向，叠加在器件有源电极部分变为二维点阵，在器件其余部分为一维条阵。

2.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于：所述条阵结构的条方向沿声表面波传播方向延伸，条可以是平行、倾斜、发散会聚和其组合。

3.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于：所述条阵结构的条间距是有一定规律的准周期值。

4.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于：所述条阵结构是由微电子工艺常用材料构成的，可以是金属，也可以是介质。

5.根据权利要求1至4任一所述的声表面波器件，其特征在于：所述器件外围设置条阵，器件引出焊点部分不叠加条阵。

6.一种应用于具有叠加准周期条阵结构的声表面波器件的方法，其特征在于：所述套刻工艺步骤为：

（1）采用双层膜淀积工艺，依次在压电基片上淀积声表面波器件用金属膜和叠加结构用金属膜或介质膜；

（2）在此双层膜上制作常规声表面波器件；

（3）采用条阵掩膜，腐蚀去除上层金属膜或介质膜，完成叠加准周期条阵结构。

7.根据权利要求6所述应用于具有叠加准周期条阵结构的声表面波器件的方法，其特征在于：条阵条间距周期在有源电极处不同于其他部分，通过掩膜设计和腐蚀工艺微调器件有源电极上的点阵参数。