[发明专利]能使硅料转动的硅料超声波清洗装置

权利要求书

1.能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，包括机架，机架上设置有清洗槽和超声波发生器，清洗槽中设置有带超声波换能器的超声波振盒，其特征在于：在机架上设置有传动托架装置，所述的传动托架装置的结构包括：连接杆，连接杆的一端与传动托架臂固定连接，连接杆的另一端与升降装置活动连接；所述的传动托架臂铰接于机架上的转轴处，传动托架臂上安装有传动装置，传动托架臂的端部活动设置有转动托盘，所述的转动托盘设置在清洗槽中，所述的传动装置能带动转动托盘转动，硅料工装篮安装在转动托盘上；所述的升降装置固定安装在机架上，升降装置的顶升和下降能使传动托架臂绕转轴转动。

2.根据权利要求1所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的传动装置包括：安装在传动托架臂上的转动电机，转动电机的轴上设置有主动齿轮，主动齿轮与若干从动齿轮相啮合，所述的转动托盘的圆周上设置有齿盘，齿盘与从动齿轮相啮合。

3.根据权利要求1或2所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的升降装置结构为：固定安装在机架上的汽缸，汽缸的活塞杆的顶部与连接杆的另一端铰接。

4.根据权利要求1或2所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的转动托盘上设置有卡块，卡块与硅料工装篮相卡接。

5.根据权利要求3所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的转动托盘上设置有卡块，卡块与硅料工装篮相卡接。

6.根据权利要求2所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的传动托架臂上设置有挡板，挡板遮盖住转动电机及从动齿轮。

7.根据权利要求1或2所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的传动托架臂的端部设置有限位轴，所述的转动托盘活动安装在限位轴上。