[发明专利]直拉式单晶炉用坩埚驱动装置

权利要求书

1.一种直拉式单晶炉用坩埚驱动装置，它包括坩埚支架(1)、坩埚旋转组件(3)、坩埚轴组件(2)、埚升组件(4)，坩埚支架(1)固定在底座(14)上，两根配对的配有滑块(16)的滚动直线导轨副(7)固定在坩埚支架(1)上，滑台(15)与两块滑块(16)连接，滑台(15)上装坩埚轴组件(2)，坩埚旋转组件(3)装在滑台(15)一侧，坩埚旋转组件(3)带动坩埚轴组件(2)旋转，驱动滚珠丝杆副(6)上段通过轴承与上轴承座(10)连接，上轴承座(10)固定在坩埚支架(1)顶面，埚升组件(4)固定在底座(14)上，埚升组件(4)带动蜗轮减速器(8)，其特征是：滑台(15)中的下轴承座(9)与驱动滚珠丝杆副(6)中的丝杆螺母(17)连接，蜗轮减速器(8)固定在底座(14)上，驱动滚珠丝杆副(6)直接连接蜗轮减速器(8)，蜗轮减速器(8)直接带动驱动滚珠丝杆副(6)旋转。

2.根据权利要求1所述的直拉式单晶炉用坩埚驱动装置，其特征是：所述的底座(14)上设置坩埚极限下限位防碰撞缓冲块(13)。

3.根据权利要求1所述的直拉式单晶炉用坩埚驱动装置，其特征是：所述的坩埚支架(1)一侧面上固定上行程开关座(18)和下行程开关座(19)，上行程开关座(18)和下行程开关座(19)上分别装有限位行程开关(20)，两个限位行程开关(20)和坩埚限位杆(21)构成坩埚限位组件(5)，坩埚限位杆(21)固定滑台(15)上，上行程开关座(18)和下行程开关座(19)上下位置可调。

4.根据权利要求1所述的直拉式单晶炉用坩埚驱动装置，其特征是：所述的驱动滚珠丝杆副(6)上部安装编码器(11)，编码器(11)固定上轴承座(10)上。

5.根据权利要求1所述的直拉式单晶炉用坩埚驱动装置，其特征是：所述的坩埚旋转组件(3)由可调支架(31)、锅转电机(32)、带轮(33)、可调滑板(34)、减速器(35)、调节螺丝(35)构成，可调滑板(34)装在可调支架(31)中，锅转电机(32)和减速器(35)固定可调滑板(34)上，锅转电机(32)通过减速器(35)带动带轮(33)旋转，调节螺丝(35)调节可调滑板(34)的位置，可调支架(31)安装在滑台(15)一侧。

6.根据权利要求1所述的直拉式单晶炉用坩埚驱动装置，其特征是：所述的埚升组件(4)由慢升电机(41)、离合器组件(42)、快升电机(43)、同步带(44)、同步带轮(45)、支架(46)、安装滑板(47)构成，离合器组件(42)和支架(46)固定在安装滑板(47)上，慢升电机(41)与离合器组件(42)连接，快升电机(43)固定在离合器组件(42)顶面上，安装滑板(47)上开有若干腰形孔，安装滑板(47)固定在底座(14)上；慢升电机(41)的旋转通过离合器组件(42)、同步带轮(45)、蜗轮减速器(8)传递给驱动滚珠丝杆副(6)，实现滑台(15)的慢速上升或下降；当离合器组件(42)失电脱开时，快升电机(43)的旋转通过同步带(44)、同步带轮(45)、蜗轮减速器(8)传递给驱动滚珠丝杆副(6)，实现滑台(15)的快速上升或下降。

7.根据权利要求1所述的直拉式单晶炉用坩埚驱动装置，其特征是：所述的坩埚轴组件(2)由坩埚轴(201)、磁流体防尘托盘(202)、加长磁流体密封机构(203)、锅转带轮(205)和冷却系统(206)构成，坩埚轴(201)穿过磁流体防尘托盘(202)、加长磁流体密封机构(203)，锅转带轮(205)套装在坩埚轴(201)下段，坩埚轴(201)下接冷却系统(206)，加长磁流体密封机构(203)固定在滑台(15)中，磁流体防尘托盘(202)在加长磁流体密封机构(203)之上，锅转带轮(205)上套有锅转多契带(22)，加长磁流体密封机构(203)中的磁流体采用三级轴承。